| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 透明导电氧化物薄膜的研究意义 | 第10-12页 |
| 1.2 透明导电氧化物薄膜的研究现状及发展 | 第12-16页 |
| 1.2.1 透明导电薄膜的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.2 透明导电薄膜的发展趋势 | 第14-16页 |
| 1.3 O/M/O多层结构的透明导电氧化物薄膜 | 第16-18页 |
| 1.3.1 O/M/O透明多层薄膜的主要材料 | 第17-18页 |
| 1.3.2 O/M/O透明多层薄膜的研究现状 | 第18页 |
| 1.4 本论文的研究及创新 | 第18-20页 |
| 第二章 多层透明导电电极的制备和表征技术 | 第20-25页 |
| 2.1 多层透明导电电极的制备方法 | 第20-22页 |
| 2.1.1 磁控溅射薄膜的原理及优点 | 第20-21页 |
| 2.1.2 其他几种制备薄膜方法 | 第21-22页 |
| 2.2 多层透明导电电极的表征 | 第22-25页 |
| 2.2.1 薄膜的形貌 | 第22页 |
| 2.2.2 薄膜透光率 | 第22-23页 |
| 2.2.3 薄膜的导电性 | 第23-24页 |
| 2.2.4 薄膜的晶体结构 | 第24-25页 |
| 第三章 Nb_2O_5/Ag/Nb_2O_5透明电极的制备与表征 | 第25-35页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 实验 | 第25-27页 |
| 3.2.1 Nb_2O_5/Ag/Nb_2O_5电极的制备 | 第25-27页 |
| 3.2.2 Nb_2O_5/Ag/Nb_2O_5性能表征 | 第27页 |
| 3.3 讨论与分析 | 第27-32页 |
| 3.3.1 不同Nb_2O_5溅射时间对薄膜性能的影响 | 第27-29页 |
| 3.3.2 不同Nb_2O_5溅射功率对薄膜性能的影响 | 第29-30页 |
| 3.3.3 Ag薄膜厚度对薄膜性能的影响 | 第30-32页 |
| 3.4 Nb_2O_5/Ag/Nb_2O_5薄膜的导电性分析 | 第32-34页 |
| 3.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 Nb_2O_5/Ag/ZnO透明电极的制备与表征 | 第35-49页 |
| 4.1 引言 | 第35页 |
| 4.2 实验 | 第35-36页 |
| 4.2.1 多层薄膜电极的制备 | 第35-36页 |
| 4.2.2 Nb_2O_5/Ag/ZnO性能表征 | 第36页 |
| 4.3 讨论与分析 | 第36-47页 |
| 4.3.1 ZnO靶溅射功率对薄膜性能的影响 | 第36-38页 |
| 4.3.2 Nb_2O_5/Ag/ZnO和ZnO/Ag/Nb_2O_5光电性能的对比 | 第38-40页 |
| 4.3.3 Nb_2O_5和ZnO的膜厚对薄膜性能的影响 | 第40-42页 |
| 4.3.4 Ag靶的溅射功率对薄膜性能的影响 | 第42-45页 |
| 4.3.5 Ag薄膜的厚度对电极性能的影响 | 第45-47页 |
| 4.3.6 Nb_2O_5/Ag/ZnO电极柔性测试 | 第47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-49页 |
| 第五章 Nb_2O_5-ZnO/Ag/Nb_2O_5-ZnO混合透明电极的制备与表征 | 第49-59页 |
| 5.1 引言 | 第49-50页 |
| 5.2 实验 | 第50-51页 |
| 5.2.1 Nb_2O_5-ZnO/Ag/Nb_2O_5-ZnO电极的制备 | 第50-51页 |
| 5.2.2 Nb_2O_5-ZnO/Ag/Nb_2O_5-ZnO电极的制备表征 | 第51页 |
| 5.3 讨论与分析 | 第51-58页 |
| 5.3.1 Nb_2O_5和ZnO混合薄膜的性质 | 第51-53页 |
| 5.3.2 Nb_2O_5-ZnO膜厚和Ag层厚度对透明导电电极性能的影响 | 第53-57页 |
| 5.3.3 Nb_2O_5-ZnO/Ag/Nb_2O_5-ZnO薄膜的性能研究 | 第57-58页 |
| 5.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第66-67页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第67-68页 |
| 附录3 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
