| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 研究背景 | 第10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-22页 |
| 1.2.1 Pd纳米结构氢气传感器 | 第11-17页 |
| 1.2.1.1 非连续性钯膜 | 第12页 |
| 1.2.1.2 连续纳米结构Pd膜 | 第12-17页 |
| 1.2.2 Pd的复合薄膜氢气传感器 | 第17-19页 |
| 1.2.3 柔性氢气传感器 | 第19-22页 |
| 1.3 本文的主要贡献与创新 | 第22页 |
| 1.4 论文的结构安排 | 第22-23页 |
| 第二章 基本原理及方法 | 第23-30页 |
| 2.1 实验材料 | 第23页 |
| 2.2 实验原理 | 第23-26页 |
| 2.2.1 阳极氧化铝制备机理 | 第23-24页 |
| 2.2.1.1 阻挡层溶解 | 第23-24页 |
| 2.2.1.2 新阻挡层生成 | 第24页 |
| 2.2.2 柔性PDMS薄膜制备 | 第24-25页 |
| 2.2.3 旋涂原理 | 第25页 |
| 2.2.4 喷涂原理 | 第25-26页 |
| 2.3 器件的性能表征 | 第26-28页 |
| 2.3.1 样品的测试 | 第26-27页 |
| 2.3.2 样品的表征 | 第27-28页 |
| 2.3.2.1 扫瞄电子显微镜(ScanningElectronMicroscope,SEM) | 第27页 |
| 2.3.2.2 X射线衍射(X-raydiffraction,XRD) | 第27-28页 |
| 2.4 Pd与氢气反应机理 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 Pd薄膜柔性氢气传感器研究 | 第30-47页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 Pd薄膜柔性氢气传感器制备与研究 | 第30-44页 |
| 3.2.1 实验仪器 | 第30-31页 |
| 3.2.2 实验方法 | 第31-32页 |
| 3.2.3 氢气传感器的性能测试与分析 | 第32-38页 |
| 3.2.3.1 PDMS的表征 | 第32-34页 |
| 3.2.3.2 不同模板制备所得PDMS衬底对氢气传感器性能的影响 | 第34-38页 |
| 3.2.4 Pd薄膜厚度对柔性氢气传感器性能的影响 | 第38-44页 |
| 3.3 Pd膜柔性氢气传感器的敏感机理 | 第44-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 Pd/TiO_2复合薄膜柔性氢气传感器研究 | 第47-58页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 实验器材与实验方法 | 第47-49页 |
| 4.2.1 实验器材 | 第47-48页 |
| 4.2.2 实验方法 | 第48-49页 |
| 4.2.2.1 AAO模板的制备 | 第48页 |
| 4.2.2.2 PDMS衬底的制备 | 第48页 |
| 4.2.2.3 TiO_2薄膜的制备 | 第48页 |
| 4.2.2.4 Pd/TiO_2复合薄膜柔性氢气传感器的制备 | 第48-49页 |
| 4.3 Pd/TiO_2复合薄膜柔性氢气传感器 | 第49-56页 |
| 4.3.1 Pd/TiO_2复合薄膜表征 | 第51-52页 |
| 4.3.2 Pd/TiO_2复合薄膜柔性氢气传感器的性能测试 | 第52-56页 |
| 4.4 Pd/TiO_2复合薄膜柔性氢气传感器机理研究 | 第56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 5.1 全文总结 | 第58-59页 |
| 5.2 后续工作展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第67页 |
