| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 1 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 引言 | 第9-11页 |
| 1.2 微夹持器研究现状 | 第11-20页 |
| 1.2.1 微夹持器本体柔顺机构研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 微夹持器驱动方式研究现状 | 第13-18页 |
| 1.2.3 微夹持器传感配置研究现状 | 第18-20页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第20-22页 |
| 2 压电驱动柔性双摇杆式微夹持器结构设计与数学建模 | 第22-37页 |
| 2.1 引言 | 第22-23页 |
| 2.2 柔性双摇杆式微夹持器结构与工作机理 | 第23-27页 |
| 2.3 柔性双摇杆式微夹持器数学建模 | 第27-33页 |
| 2.3.1 微夹持器放大系数推导 | 第27-28页 |
| 2.3.2 微夹持器静力学建模 | 第28-32页 |
| 2.3.3 基于Lagrange方程的动力学方程推导 | 第32-33页 |
| 2.4 夹持位移传感配置分析 | 第33-35页 |
| 2.5 夹持力传感配置分析 | 第35页 |
| 2.6 本章小结 | 第35-37页 |
| 3 双摇杆式微夹持器有限元仿真分析 | 第37-49页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 微夹持器静力学仿真分析 | 第37-43页 |
| 3.2.1 放大系数分析 | 第38-41页 |
| 3.2.2 夹持端平行度分析 | 第41-43页 |
| 3.3 微夹持器模态分析 | 第43-44页 |
| 3.4 微夹持器阶跃响应仿真分析 | 第44-45页 |
| 3.5 微夹持器频率响应仿真分析 | 第45-46页 |
| 3.6 微夹持器夹持位移传感配置仿真分析 | 第46-47页 |
| 3.7 微夹持器夹持力传感配置仿真分析 | 第47-48页 |
| 3.8 本章小结 | 第48-49页 |
| 4 压电驱动双摇杆式微夹持器测控平台搭建 | 第49-55页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 实验测试系统整体框架 | 第49-53页 |
| 4.2.1 压电陶瓷驱动电源 | 第50-51页 |
| 4.2.2 叠堆压电陶瓷 | 第51页 |
| 4.2.3 检测与控制装置 | 第51-53页 |
| 4.3 软件平台设计 | 第53-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 5 双摇杆式微夹持器实验研究 | 第55-64页 |
| 5.1 引言 | 第55页 |
| 5.2 夹持位移传感器标定 | 第55-57页 |
| 5.3 夹持力传感器标定 | 第57-59页 |
| 5.4 输入输出位移曲线 | 第59页 |
| 5.5 双摇杆式微夹持器激励特性分析 | 第59-61页 |
| 5.6 微夹持器夹持特性分析 | 第61-62页 |
| 5.7 本章小结 | 第62-64页 |
| 6 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 全文工作总结 | 第64-65页 |
| 6.2 今后研究方向及其展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |