| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第8页 |
| 1.2 皮秒激光加工理论及其优势 | 第8-12页 |
| 1.2.1 皮秒激光与材料相互作用机理 | 第8-10页 |
| 1.2.2 皮秒激光对材料的损伤阈值 | 第10-11页 |
| 1.2.3 皮秒激光加工优势 | 第11-12页 |
| 1.3 激光制孔研究现状 | 第12-16页 |
| 1.3.1 脉冲宽度的影响 | 第12-14页 |
| 1.3.2 激光波长的影响 | 第14-15页 |
| 1.3.3 加工方式的影响 | 第15-16页 |
| 1.4 激光制孔的典型应用 | 第16-18页 |
| 1.4.1 航空制造 | 第16-17页 |
| 1.4.2 微电子制造 | 第17-18页 |
| 1.4.3 硬脆材料加工 | 第18页 |
| 1.5 皮秒激光制孔存在的问题 | 第18页 |
| 1.6 研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 研究方案 | 第20-27页 |
| 2.1 实验材料 | 第20页 |
| 2.2 实验平台 | 第20-21页 |
| 2.3 研究路线 | 第21-22页 |
| 2.4 实验方法 | 第22-27页 |
| 2.4.1 激光加工参数的调节 | 第22-23页 |
| 2.4.2 加工方式 | 第23-24页 |
| 2.4.3 金相试样制备 | 第24页 |
| 2.4.4 表征方法 | 第24-26页 |
| 2.4.5 材料损伤阈值的计算 | 第26-27页 |
| 第三章 镍基单晶合金DD6的皮秒激光损伤形貌和阈值行为 | 第27-35页 |
| 3.1 纳秒激光损伤形貌 | 第27-28页 |
| 3.2 皮秒激光损伤形貌 | 第28-29页 |
| 3.3 纳秒激光阈值行为 | 第29-30页 |
| 3.4 皮秒激光损伤直径及阈值行为 | 第30-32页 |
| 3.4.1 镍基单晶合金DD6的损伤阈值行为 | 第30-31页 |
| 3.4.2 多种其他材料的损伤阈值行为 | 第31-32页 |
| 3.5 分析与讨论 | 第32-33页 |
| 3.5.1 脉冲宽度对损伤机制的影响 | 第32-33页 |
| 3.5.2 脉冲宽度对损伤阈值的影响 | 第33页 |
| 3.5.3 材料种类对损伤阈值的影响 | 第33页 |
| 3.6 小结 | 第33-35页 |
| 第四章 镍基单晶合金DD6的皮秒激光制孔 | 第35-48页 |
| 4.1 脉冲宽度对制孔表面和侧壁的影响 | 第35-36页 |
| 4.2 加工参数对制孔的影响 | 第36-41页 |
| 4.2.1 加工方式 | 第36-37页 |
| 4.2.2 加工时间 | 第37-38页 |
| 4.2.3 焦点位置 | 第38-39页 |
| 4.2.4 辅助气体 | 第39-41页 |
| 4.2.5 透镜焦距 | 第41页 |
| 4.3 分析与讨论 | 第41-47页 |
| 4.3.1 微孔加工质量的影响因素 | 第41-43页 |
| 4.3.2 微孔加工形貌的影响因素 | 第43-46页 |
| 4.3.3 微孔加工效率的影响因素 | 第46-47页 |
| 4.4 小结 | 第47-48页 |
| 第五章 含热障涂层镍基单晶合金DD6的皮秒激光制孔 | 第48-52页 |
| 5.1 YSZ陶瓷的损伤阈值 | 第48-49页 |
| 5.2 含热障涂层镍基单晶合金DD6皮秒激光制孔加工参数的选取 | 第49页 |
| 5.3 含热障涂层镍基单晶合金DD6皮秒激光制孔形貌特征 | 第49-50页 |
| 5.4 分析与讨论 | 第50-51页 |
| 5.5 小结 | 第51-52页 |
| 第六章 结论与展望 | 第52-54页 |
| 6.1 结论 | 第52页 |
| 6.2 展望 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 发表论文情况说明 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
