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光刻投影物镜动镜柔顺定位机构模型修正及分析

摘要第4-5页
Abstract第5页
1 绪论第8-18页
    1.1 课题来源、研究背景与意义第8-9页
    1.2 柔顺定位机构和模态修正技术的研究现状第9-16页
    1.3 主要研究内容与结构安排第16-18页
2 柔顺定位机构有限元仿真建模第18-32页
    2.1 引言第18页
    2.2 柔顺定位机构的工作原理第18-19页
    2.3 柔顺定位机构建模与分析第19-26页
    2.4 柔顺定位机构模态试验及结果对比第26-31页
    2.5 本章小结第31-32页
3 基于 OptiStruct 柔顺定位机构的模型参数修正第32-51页
    3.1 引言第32页
    3.2 OptiStruct 模型修正优化概述第32-35页
    3.3 建立模型优化目标函数第35-39页
    3.4 接触刚度和柔性铰链弹性模量优化第39-49页
    3.5 优化结果与分析第49-50页
    3.6 本章小结第50-51页
4 基于修正模型的柔顺定位机构性能仿真第51-61页
    4.1 引言第51页
    4.2 柔顺定位机构修正模型运动学分析第51-53页
    4.3 随机振动分析第53-60页
    4.4 本章小结第60-61页
5 总结与展望第61-62页
    5.1 全文总结第61页
    5.2 研究展望第61-62页
致谢第62-63页
参考文献第63-66页

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