| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 课题背景 | 第11-12页 |
| 1.2 半导体金属氧化物氧化锌（ZnO） | 第12-14页 |
| 1.2.1 ZnO 的晶体结构 | 第12-13页 |
| 1.2.2 ZnO 的能带结构 | 第13-14页 |
| 1.2.3 ZnO 的缺陷态 | 第14页 |
| 1.3 石墨烯 | 第14-16页 |
| 1.3.1 石墨烯结构 | 第14-15页 |
| 1.3.2 石墨烯气敏方面应用 | 第15-16页 |
| 1.4 气敏传感器 | 第16-19页 |
| 1.4.1 气敏传感器分类 | 第16-17页 |
| 1.4.2 氧化锌气敏传感器 | 第17-19页 |
| 1.5 气敏传感器发展现状及存在问题 | 第19页 |
| 1.6 本论文思路及创新点 | 第19-21页 |
| 第2章 实验过程与原理 | 第21-28页 |
| 2.1 氧化锌气敏材料的制备 | 第21-22页 |
| 2.1.1 实验过程 | 第21页 |
| 2.1.2 实验药品与设备 | 第21-22页 |
| 2.2 ZnO/石墨烯复合气敏材料的制备 | 第22-24页 |
| 2.2.1 实验过程 | 第22-23页 |
| 2.2.2 所需药品和设备 | 第23-24页 |
| 2.3 气敏测试方法与原理 | 第24-27页 |
| 2.3.1 气敏元件的制备 | 第24-25页 |
| 2.3.2 半导体气敏原件的特性参数 | 第25-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 氧化锌纳米阵列的制备及气敏性能研究 | 第28-40页 |
| 3.1 氧化锌纳米阵列制备 | 第28-30页 |
| 3.1.1 氧化锌纳米阵列的形貌分析 | 第28-29页 |
| 3.1.2 氧化锌纳米阵列的 X 射线分析 | 第29-30页 |
| 3.1.3 氧化锌纳米阵列的生长机理 | 第30页 |
| 3.2 氧化锌纳米阵列对不同气体的气敏性能分析 | 第30-39页 |
| 3.2.1 氧化锌对甲醇的气敏性能 | 第30-33页 |
| 3.2.2 氧化锌对乙醇的气敏性能 | 第33-36页 |
| 3.2.3 氧化锌对丙酮的气敏性能 | 第36-38页 |
| 3.2.4 氧化锌对二氧化氮的气敏性能 | 第38-39页 |
| 3.3 本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 ZnO/石墨烯复合材料对二氧化氮气敏性能研究 | 第40-55页 |
| 4.1 微观形貌表征 | 第40-43页 |
| 4.1.1 石墨烯与氧化石墨烯 SEM 表征 | 第40页 |
| 4.1.2 ZnO/石墨烯复合纳米材料的 SEM 表征 | 第40-43页 |
| 4.2 X 射线衍射分析 | 第43-45页 |
| 4.2.1 氧化石墨烯和石墨烯的 X 射线衍射分析 | 第43页 |
| 4.2.2 ZnO/石墨烯复合材料 X 射线分析 | 第43-45页 |
| 4.3 ZnO/石墨烯复合材料拉曼分析 | 第45页 |
| 4.4 气敏测试分析 | 第45-53页 |
| 4.4.1 石墨烯对二氧化氮气敏测试分析 | 第46-47页 |
| 4.4.2 ZnO/石墨烯复合材料气敏测试分析 | 第47-53页 |
| 4.5 对二氧化氮气敏测试机理解释 | 第53页 |
| 4.5.1 石墨烯对二氧化氮气敏机理解释 | 第53页 |
| 4.5.2 ZnO/石墨烯复合材料对二氧化氮气敏机理解释 | 第53页 |
| 4.6 本章小结 | 第53-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 作者简介 | 第63页 |
