| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 主动减振技术国内外研究现状 | 第10-17页 |
| 1.2.1 主动减振结构研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.2 主动减振控制方法研究现状 | 第15-16页 |
| 1.2.3 主动减振器产品研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3 本研究领域存在的关键技术问题 | 第17-18页 |
| 1.4 课题的主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 主动气浮减振器机械结构组成及模型分析 | 第19-33页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 主动气浮减振器结构组成 | 第19-23页 |
| 2.2.1 被动气浮结构分析 | 第20-21页 |
| 2.2.2 主动减振结构分析 | 第21-23页 |
| 2.3 主动气浮减振器理论模型的建立和分析 | 第23-32页 |
| 2.3.1 主动气浮减振器竖直向结构特性分析 | 第23-27页 |
| 2.3.2 主动气浮减振器水平向结构特性分析 | 第27-30页 |
| 2.3.3 主动气浮减振器多自由度模型建立 | 第30-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 主动气浮减振器单自由度控制方法的设计和分析 | 第33-52页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 主动气浮减振器控制模型分析 | 第33-35页 |
| 3.3 主动气浮减振器定位系统控制方法设计 | 第35-39页 |
| 3.3.1 气路单元控制方法设计 | 第36-38页 |
| 3.3.2 电机定位单元控制方法设计 | 第38-39页 |
| 3.4 主动气浮减振器减振系统控制方法的设计和分析 | 第39-51页 |
| 3.4.1 主动阻尼控制方法的设计和分析 | 第39-47页 |
| 3.4.2 负刚度控制方法的设计和分析 | 第47-49页 |
| 3.4.3 复合型主动控制方法的设计和分析 | 第49-51页 |
| 3.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 六自由度主动气浮减振系统的设计与研究 | 第52-62页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 三点支承的主动气浮减振系统模型 | 第52-55页 |
| 4.3 主动气浮减振系统解耦控制算法设计 | 第55-58页 |
| 4.4 主动气浮减振系统减振性能仿真及结果分析 | 第58-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 实验与分析 | 第62-75页 |
| 5.1 引言 | 第62页 |
| 5.2 实验系统设计 | 第62-65页 |
| 5.2.1 实验系统控制单元设计 | 第62-64页 |
| 5.2.2 实验系统软件功能设计 | 第64-65页 |
| 5.3 主动气浮减振器主被动减振对比实验 | 第65-69页 |
| 5.3.1 时域振动速度对比实验 | 第65-66页 |
| 5.3.2 系统位移传递率对比实验 | 第66-67页 |
| 5.3.3 固有频率对比实验 | 第67-69页 |
| 5.4 主动气浮减振系统减振性能测试实验 | 第69-73页 |
| 5.4.1 系统竖直方向减振性能测试实验 | 第69-70页 |
| 5.4.2 系统水平短轴方向减振性能测试实验 | 第70-72页 |
| 5.4.3 系统水平长轴方向减振性能测试实验 | 第72-73页 |
| 5.5 本章小结 | 第73-75页 |
| 结论 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 致谢 | 第80页 |