光刻机工件台六自由度零位传感器结构设计与信号处理
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.2 课题背景与研究意义 | 第10-12页 |
| 1.3 国内外光刻机发展综述 | 第12-17页 |
| 1.3.1 国外光刻机发展概况 | 第12-15页 |
| 1.3.2 国内光刻机发展概况 | 第15-17页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 基于 PSD 的位移测量原理 | 第19-39页 |
| 2.1 微位移测量方法 | 第19-23页 |
| 2.1.1 非光学测量方法 | 第19-21页 |
| 2.1.2 光学测量方法 | 第21-23页 |
| 2.2 PSD 的基本工作原理分析 | 第23-31页 |
| 2.2.1 PSD 发展历史 | 第24-25页 |
| 2.2.2 一维 PSD 的工作原理 | 第25-29页 |
| 2.2.3 二维 PSD 的工作原理 | 第29-31页 |
| 2.3 角锥棱镜的工作原理分析 | 第31-34页 |
| 2.4 零位传感器的六自由度测量模型 | 第34-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-39页 |
| 第3章 二自由度测量系统的设计与实现 | 第39-55页 |
| 3.1 引言 | 第39页 |
| 3.2 光学系统分析 | 第39-44页 |
| 3.2.1 光路分析 | 第39-40页 |
| 3.2.2 光学器件选型 | 第40-44页 |
| 3.3 机械结构设计分析 | 第44-45页 |
| 3.3.1 光纤末端支座和二维 PSD 固定结构 | 第44页 |
| 3.3.2 角锥棱镜安装结构和固定盖 | 第44-45页 |
| 3.4 硬件电路设计 | 第45-53页 |
| 3.4.1 二维 PSD 输出信号的预处理电路 | 第46-49页 |
| 3.4.2 光源的驱动电路设计 | 第49-51页 |
| 3.4.3 A/D 采集卡的硬件设计 | 第51-53页 |
| 3.4.4 串口拓展电路 | 第53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-55页 |
| 第4章 实验结果与误差分析 | 第55-70页 |
| 4.1 引言 | 第55页 |
| 4.2 误差分析 | 第55-64页 |
| 4.2.1 光源部分的误差 | 第55-59页 |
| 4.2.2 角锥棱镜部分的误差 | 第59-61页 |
| 4.2.3 PSD 部分的误差 | 第61-64页 |
| 4.3 实验设计 | 第64-67页 |
| 4.4 实验结果 | 第67-69页 |
| 4.4.1 分辨力实验 | 第67页 |
| 4.4.2 重复性实验 | 第67-69页 |
| 4.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 第5章 光刻机工件台六自由度零位校准 | 第70-79页 |
| 5.1 引言 | 第70页 |
| 5.2 激光干涉仪零位校准 | 第70-71页 |
| 5.3 较零系统建模 | 第71-77页 |
| 5.3.1 零位传感器测量模型 | 第71-75页 |
| 5.3.2 激光干涉仪测量模型 | 第75-76页 |
| 5.3.3 激光干涉仪初始化 | 第76-77页 |
| 5.4 较零流程 | 第77-78页 |
| 5.5 本章小结 | 第78-79页 |
| 结论 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第84-86页 |
| 致谢 | 第86页 |
