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Cu2S薄膜制备及单晶硅片弱氧化制绒研究

摘要第3-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-21页
    1.1 太阳能电池的研究意义第9-11页
    1.2 扩大太阳能电池应用范围的途径第11-13页
        1.2.1 太阳能电池成本降低的方法第11-12页
        1.2.2 太阳能电池光电转换效率提高的途径第12-13页
    1.3 硫化亚铜(Cu_2S)半导体材料第13-15页
        1.3.1 Cu_2S的性质及应用第13页
        1.3.2 Cu_2S的研究现状第13-15页
    1.4 HIT太阳电池第15-18页
        1.4.1 HIT太阳电池的结构及特点第16-17页
        1.4.2 HIT太阳电池的研究现状第17-18页
    1.5 本论文的研究目的和内容第18-21页
第2章 Cu_2S薄膜和晶硅绒面的制备及测试分析第21-35页
    2.1 Cu_2S薄膜的制备方法第21-24页
        2.1.1 化学气相沉积法第21页
        2.1.2 连续离子层吸附反应法第21-22页
        2.1.3 喷雾热解法第22页
        2.1.4 水热法第22页
        2.1.5 化学浴沉积法第22-24页
    2.2 晶体硅片的绒面制备第24-28页
        2.2.1 单晶硅的绒面制备第24-27页
        2.2.2 多晶硅的绒面制备第27-28页
    2.3 主要表征技术第28-33页
        2.3.1 X射线衍射(XRD)第28-30页
        2.3.2 X射线光电子能谱(XPS)第30页
        2.3.3 原子力显微镜(AFM)第30-31页
        2.3.4 扫描电子显微镜(SEM)第31-32页
        2.3.5 紫外可见近红外光谱第32-33页
    2.4 本章小结第33-35页
第3章 化学浴沉积温度对Cu_2S薄膜结构及光学特性的影响第35-45页
    3.1 实验第35-38页
        3.1.1 实验仪器及试剂第35-36页
        3.1.2 衬底清洗第36页
        3.1.3 pH计标定第36-37页
        3.1.4 Cu_2S薄膜的制备第37-38页
        3.1.5 测试表征第38页
    3.2 结果与讨论第38-43页
        3.2.1 XRD分析第38-39页
        3.2.2 AFM分析第39-40页
        3.2.3 XPS分析第40-41页
        3.2.4 光学性能表征第41-43页
    3.3 本章小结第43-45页
第4章 弱氧化单晶硅片的表面制绒第45-57页
    4.1 实验过程第45-47页
        4.1.1 单晶硅片的清洗第45-46页
        4.1.2 单晶硅片的弱氧化第46页
        4.1.3 单晶硅片的绒面制备第46页
        4.1.4 HIT太阳电池的制备第46-47页
    4.2 弱氧化硅片制绒结果第47-50页
    4.3 弱氧化条件对制绒效果的影响第50-54页
        4.3.1 H_2O_2浓度对制绒效果的影响第50-52页
        4.3.2 弱氧化时间对制绒效果的影响第52-54页
    4.4 HIT太阳电池的性能第54-55页
    4.5 本章小结第55-57页
第5章 总结与展望第57-59页
参考文献第59-65页
致谢第65-67页
攻读硕士期间的研究成果第67页

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