一种高精度非接触式非球面面形检测系统的设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 课题背景 | 第10-11页 |
| 1.2 研究意义 | 第11页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.3.1 国外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3.2 国内研究现状 | 第13-14页 |
| 1.4 课题主要内容 | 第14-15页 |
| 第2章 系统测量原理和方案 | 第15-23页 |
| 2.1 非球面测量系统工作原理 | 第15-19页 |
| 2.1.1 光学非球面 | 第15页 |
| 2.1.2 现有测量方案结构分析 | 第15-19页 |
| 2.2 系统测量方案 | 第19-21页 |
| 2.2.1 激光扫描式系统方案 | 第19-21页 |
| 2.2.2 激光扫描式测量系统结构 | 第21页 |
| 2.3 本章小结 | 第21-23页 |
| 第3章 系统的光路设计与模型搭建 | 第23-43页 |
| 3.1 系统总体光路布局与分析 | 第23-25页 |
| 3.1.1 系统测量光路布局 | 第23-24页 |
| 3.1.2 系统光路分析 | 第24-25页 |
| 3.2 光器件选型 | 第25-27页 |
| 3.2.1 激光器 | 第25-26页 |
| 3.2.2 PSD位敏探测器 | 第26-27页 |
| 3.3 系统光路设计 | 第27-42页 |
| 3.3.1 设计工具简介 | 第27-29页 |
| 3.3.2 系统光路搭建 | 第29-32页 |
| 3.3.3 扫描机构精度分析 | 第32-34页 |
| 3.3.4 缩束镜设计 | 第34-40页 |
| 3.3.5 光学元件选型 | 第40-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 系统的结构设计与调试 | 第43-56页 |
| 4.1 机械结构设计 | 第43-48页 |
| 4.1.1 缩束镜机械设计 | 第43-45页 |
| 4.1.2 扫描机构机械设计 | 第45-46页 |
| 4.1.3 反射镜机械固定件设计 | 第46-48页 |
| 4.2 系统光机器件装配 | 第48-50页 |
| 4.2.1 缩束镜的装配 | 第48-49页 |
| 4.2.2 反射镜安装 | 第49-50页 |
| 4.2.3 扫描机构安装 | 第50页 |
| 4.3 待测样品介绍 | 第50-53页 |
| 4.3.1 紫外照明球面 | 第51页 |
| 4.3.2 照明均匀非球面 | 第51-52页 |
| 4.3.3 激光扩角缩束非球面 | 第52-53页 |
| 4.4 系统调试 | 第53-54页 |
| 4.4.1 激光光束的水平调整 | 第53页 |
| 4.4.2 反射镜的位置和姿态调整 | 第53页 |
| 4.4.3 光学元件共轴性调整 | 第53-54页 |
| 4.4.4 PSD位置和姿态调整 | 第54页 |
| 4.4.5 安装待测非球面 | 第54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-56页 |
| 第5章 数据采集与处理 | 第56-65页 |
| 5.1 数据采集 | 第56-58页 |
| 5.1.1 数据采集系统介绍 | 第56-57页 |
| 5.1.2 测量数据采集 | 第57-58页 |
| 5.2 数据处理 | 第58-63页 |
| 5.2.1 迭代算法 | 第58-60页 |
| 5.2.2 面形曲线分析与拟合 | 第60-63页 |
| 5.2.3 系统误差分析 | 第63页 |
| 5.3 本章小结 | 第63-65页 |
| 第6章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 6.1 全文总结 | 第65-66页 |
| 6.2 课题展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 附录 | 第71-77页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
