浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第13-21页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第13-15页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第13-14页 |
| 1.1.2 相关领域的应用 | 第14-15页 |
| 1.2 相关领域的研究现状 | 第15-19页 |
| 1.2.1 大角度入射保偏膜系设计及制备 | 第16-17页 |
| 1.2.2 浸液元件防水性能研究 | 第17-19页 |
| 1.2.3 镀膜元件激光辐照寿命评估 | 第19页 |
| 1.3 本论文研究主要内容 | 第19-21页 |
| 第2章 浸没式光刻投影物镜元件膜系设计及制备 | 第21-37页 |
| 2.1 宽角度减反(BAAR)膜系设计 | 第21-25页 |
| 2.1.1 基于传统PVD材料的减反膜系设计 | 第21-22页 |
| 2.1.2 带有极低折射率膜层的减反射膜系 | 第22-24页 |
| 2.1.3 浸液元件减反射膜系设计 | 第24-25页 |
| 2.2 BAAR膜层材料的实现途径 | 第25-29页 |
| 2.2.1 溶胶-凝胶法制备超低折射率膜层 | 第26-27页 |
| 2.2.2 混合膜层材料制备可调折射率膜层 | 第27-29页 |
| 2.3 大曲率镀膜元件光学性能不均匀性 | 第29-36页 |
| 2.3.1 大曲率镀膜元件光学性能不均匀性概述 | 第29-31页 |
| 2.3.2 混合材料对膜层均匀性的保障 | 第31-33页 |
| 2.3.3 大曲率镀膜元件的穆勒矩阵 | 第33-36页 |
| 2.4 小结 | 第36-37页 |
| 第3章 浸液元件光学薄膜寿命研究 | 第37-53页 |
| 3.1 浸液元件光学薄膜要求 | 第37-39页 |
| 3.2 镀膜元件浸液环境性能检测 | 第39-45页 |
| 3.2.1 检测方案 | 第39-40页 |
| 3.2.2 膜层材料溶解性 | 第40-43页 |
| 3.2.3 镀膜元件光学特性 | 第43-45页 |
| 3.2.5 SiO_2膜层具有保护作用的验证实验 | 第45页 |
| 3.3 镀膜元件疏水性能 | 第45-51页 |
| 3.3.1 不同膜层材料亲/疏水性能检测 | 第45-47页 |
| 3.3.2 疏水性能的实现 | 第47-48页 |
| 3.3.3 疏水膜层光学特性及浸液环境寿命评估 | 第48-51页 |
| 3.4 小结 | 第51-53页 |
| 第4章 镀膜元件激光辐照寿命研究 | 第53-65页 |
| 4.1 激光辐照寿命评估实验 | 第53-55页 |
| 4.1.1 实验方案 | 第53-54页 |
| 4.1.2 实验样品 | 第54-55页 |
| 4.2 镀膜元件激光辐照寿命 | 第55-61页 |
| 4.2.1 表面形貌 | 第55-57页 |
| 4.2.2 光学特性 | 第57-60页 |
| 4.2.3 膜层结构 | 第60-61页 |
| 4.3 改进实验 | 第61-64页 |
| 4.3.1 实验方案 | 第61-62页 |
| 4.3.2 实验结果 | 第62-64页 |
| 4.4 小结 | 第64-65页 |
| 第5章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 5.1 论文总结与主要创新点 | 第65-66页 |
| 5.2 研究展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第73页 |
