| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-34页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第12-15页 |
| 1.2 相关领域的研究现状 | 第15-32页 |
| 1.2.1 减反射膜的应用领域 | 第15-17页 |
| 1.2.2 薄膜设计方法研究现状 | 第17-18页 |
| 1.2.3 减反射膜制备技术研究现状 | 第18-22页 |
| 1.2.4 微纳结构减反射膜研究现状 | 第22-32页 |
| 1.3 论文研究目的 | 第32-33页 |
| 1.4 论文研究内容 | 第33-34页 |
| 第2章 聚类全局优化算法设计优化减反射膜 | 第34-58页 |
| 2.1 引言 | 第34页 |
| 2.2 多层减反射膜理论原理 | 第34-42页 |
| 2.2.1 薄膜干涉的特点 | 第34-36页 |
| 2.2.2 薄膜计算理论原理 | 第36-42页 |
| 2.3 多层薄膜反射率和透过率计算 | 第42-47页 |
| 2.4 薄膜设计优化理论 | 第47-50页 |
| 2.5 聚类全局优化算法 | 第50-53页 |
| 2.6 薄膜设计优化程序的编辑与运行 | 第53-56页 |
| 2.7 本章小结 | 第56-58页 |
| 第3章 宽波段多层减反射膜制备研究 | 第58-76页 |
| 3.1 引言 | 第58页 |
| 3.2 可见到近红外宽波段宽角度减反射膜 | 第58-74页 |
| 3.2.1 制备工艺及工艺材料选择 | 第58-61页 |
| 3.2.2 工艺参数确定及工艺材料定标 | 第61-68页 |
| 3.2.3 程序运算结果 | 第68-70页 |
| 3.2.4 实验结果 | 第70-74页 |
| 3.3 红外宽波段宽角度减反射膜 | 第74-75页 |
| 3.4 本章小结 | 第75-76页 |
| 第4章 纳米结构减反射膜的理论研究 | 第76-90页 |
| 4.1 引言 | 第76页 |
| 4.2 渐变折射率结构的理论模型 | 第76-79页 |
| 4.3 等效折射率计算原理 | 第79-82页 |
| 4.4 渐变折射率结构理论仿真 | 第82-89页 |
| 4.5 本章小结 | 第89-90页 |
| 第5章 纳米结构减反射膜的制备技术研究 | 第90-124页 |
| 5.1 引言 | 第90页 |
| 5.2 利用金属纳米颗粒和湿法腐蚀制备纳米结构减反射膜的研究 | 第90-100页 |
| 5.3 利用单层纳米球掩膜板制备纳米结构减反射膜的研究 | 第100-123页 |
| 5.3.1 胶体二维掩膜板的制备 | 第102-114页 |
| 5.3.2 干法刻蚀技术 | 第114-123页 |
| 5.4 本章小结 | 第123-124页 |
| 第6章 宽波段宽角度复合型纳米结构减反射膜 | 第124-132页 |
| 6.1 引言 | 第124页 |
| 6.2 复合型纳米结构减反射膜 | 第124-127页 |
| 6.2.1 复合结构的理论仿真模拟 | 第124-126页 |
| 6.2.2 复合结构减反射膜的制备研究 | 第126-127页 |
| 6.3 复合型纳米结构减反射膜的光学特性分析 | 第127-130页 |
| 6.4 本章小结 | 第130-132页 |
| 第7章 结论与展望 | 第132-134页 |
| 7.1 结论 | 第132-133页 |
| 7.2 研究展望 | 第133-134页 |
| 参考文献 | 第134-144页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第144-146页 |
| 指导教师及作者简介 | 第146-148页 |
| 致谢 | 第148页 |