| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 研究的目的与意义 | 第10-11页 |
| 1.3 国内外的研究现状 | 第11页 |
| 1.4 主要工作和章节安排 | 第11-13页 |
| 1.4.1 本文主要工作 | 第11-12页 |
| 1.4.2 本论文的结构安排 | 第12-13页 |
| 第二章 相关工艺和技术介绍 | 第13-25页 |
| 2.1 相关技术和工艺的介绍 | 第13-20页 |
| 2.1.1 夹持杆表面衰减薄膜的作用 | 第13-17页 |
| 2.1.2 螺旋线行波管夹持杆表面衰减薄膜的技术要求 | 第17-18页 |
| 2.1.3 影响衰减薄膜质量的蒸碳工艺因素分析 | 第18-20页 |
| 2.2 相关技术介绍 | 第20-24页 |
| 2.2.1 系统的开发环境和STEP 7-Micro/WIN编程软件的介绍 | 第20-22页 |
| 2.2.2 串口通讯技术介绍 | 第22-24页 |
| 2.3 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 系统的需求分析与设计 | 第25-62页 |
| 3.1 系统的需求分析 | 第25-26页 |
| 3.2 系统设计原则 | 第26-27页 |
| 3.3 系统的总体设计 | 第27页 |
| 3.4 系统的硬件构成 | 第27-28页 |
| 3.5 硬件设计 | 第28-38页 |
| 3.5.1 MCGS触摸式一体机 | 第28-29页 |
| 3.5.2 西门子PLC主控单元 | 第29-32页 |
| 3.5.3 直流稳压电源 | 第32-33页 |
| 3.5.4 质量流量计 | 第33页 |
| 3.5.5 步进电机 | 第33-34页 |
| 3.5.6 真空附件 | 第34-38页 |
| 3.5.7 接口总线 | 第38页 |
| 3.6 软件设计 | 第38-61页 |
| 3.6.1 控制系统结构 | 第38-39页 |
| 3.6.2 数据传输系统 | 第39-52页 |
| 3.6.3 工艺参数组的设置 | 第52-54页 |
| 3.6.4 自动控制 | 第54-59页 |
| 3.6.5 软件界面的设计与实现 | 第59-61页 |
| 3.7 本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 系统的调试与功能测试 | 第62-66页 |
| 4.1 系统调试 | 第62页 |
| 4.1.1 硬件调试 | 第62页 |
| 4.1.2 软件调试 | 第62页 |
| 4.2 软件系统功能测试 | 第62-65页 |
| 4.2.1 蒸碳工艺试验 | 第63页 |
| 4.2.2 工艺参数设置 | 第63-65页 |
| 4.3 本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 总结与展望 | 第66-67页 |
| 5.1 全文总结 | 第66页 |
| 5.2 后续工作展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第70-71页 |