首页--数理科学和化学论文--物理学论文--光学论文--应用光学论文

金属薄膜超透镜光刻成像质量的研究

摘要第3-4页
Abstract第4页
第1章 绪论第7-17页
    1.1 课题背景及研究的目的和意义第7-8页
    1.2 表面等离子体纳米光刻技术的研究进展第8-9页
    1.3 平面透镜成像纳米光刻技术的研究进展第9-15页
    1.4 论文主要内容第15-17页
第2章 金属薄膜超透镜光刻成像的理论分析第17-31页
    2.1 Drude 模型及衍射极限第17-20页
        2.1.1 Drude 模型第17-18页
        2.1.2 衍射极限第18-20页
    2.2 单层银膜超透镜光刻成像的理论分析第20-27页
        2.2.1 完美透镜与超透镜第21-23页
        2.2.2 单层金属薄膜超透镜光刻成像的理论分析第23-27页
    2.3 金属反射层超透镜成像的理论分析第27-30页
        2.3.1 反射成像理论第27-29页
        2.3.2 金属反射层在超透镜光刻中的作用的原理分析第29-30页
    2.4 本章小结第30-31页
第3章 单层银膜超透镜成像质量的研究第31-49页
    3.1 单层银膜超透镜模型结构建立及成像原理的介绍第31-34页
        3.1.1 单层银膜超透镜模型结构第31-32页
        3.1.2 评价光刻质量的参数介绍第32-34页
    3.2 单层银膜超透镜光刻成像中反射层的作用第34-38页
        3.2.1 反射层具有提高透过率、分辨率的作用第34-36页
        3.2.2 反射层具有改善光刻景深的作用第36-38页
    3.3 影响成像效果因素的讨论第38-47页
        3.3.1 反射层厚度对成像质量的影响第38-41页
        3.3.2 光刻胶厚度对成像质量的影响第41-42页
        3.3.3 入射光偏振态对成像质量的影响第42-45页
        3.3.4 入射光波长对成像质量的影响第45-47页
    3.4 加入反射层的单层银膜超透镜模型的应用第47页
    3.5 本章小结第47-49页
第4章 双层交叠式超透镜第49-56页
    4.1 模型设计及原理说明第49-51页
    4.2 双层交叠式超透镜的结构优化第51-54页
        4.2.1 单元结构厚度及层数对成像质量的影响第51-52页
        4.2.2 反射层厚度、光刻胶厚度对成像质量的影响第52-54页
    4.3 双层交叠式超透镜应用的局限性第54-55页
    4.4 本章小结第55-56页
结论第56-57页
参考文献第57-62页
致谢第62页

论文共62页,点击 下载论文
上一篇:P型透明导电氧化物CuAlO2薄膜的制备与物性研究
下一篇:动态距离选通激光成像图像处理研究