| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| ·课题的意义 | 第11页 |
| ·国内外的研究现状 | 第11-13页 |
| ·本论文研究的内容 | 第13-15页 |
| 第二章 制作和表征ZrO_2光学薄膜 | 第15-25页 |
| ·溶胶-凝胶法的优点 | 第15页 |
| ·溶胶-凝胶法制备膜层的应用 | 第15-17页 |
| ·着色膜的制备 | 第15页 |
| ·波导膜的制备 | 第15-16页 |
| ·分离膜的制备 | 第16页 |
| ·多层高反膜的制备 | 第16-17页 |
| ·减反射膜的制备 | 第17页 |
| ·影响胶体性能的因素 | 第17-18页 |
| ·溶胶浓度 | 第17-18页 |
| ·催化剂 | 第18页 |
| ·加水量 | 第18页 |
| ·反应温度 | 第18页 |
| ·ZrO_2化学膜的涂膜方法 | 第18-20页 |
| ·薄膜表征常用的实验仪器 | 第20-24页 |
| ·相衬显微镜 | 第20-21页 |
| ·原子力显微镜 | 第21-22页 |
| ·椭偏仪 | 第22-24页 |
| ·小结 | 第24-25页 |
| 第三章 光学薄膜在强激光辐照下的损伤 | 第25-34页 |
| ·薄膜损伤的微观机制 | 第25-27页 |
| ·多光子电离 | 第25-26页 |
| ·杂质缺陷诱导 | 第26页 |
| ·电子雪崩电离 | 第26页 |
| ·复合损伤 | 第26-27页 |
| ·对薄膜激光损伤阈值造成影响的几个方面 | 第27-30页 |
| ·薄膜膜厚的影响 | 第27-28页 |
| ·光斑效应的影响 | 第28页 |
| ·缺陷和杂质的影响 | 第28-29页 |
| ·脉宽效应影响 | 第29-30页 |
| ·波长效应影响 | 第30页 |
| ·累积效应影响 | 第30页 |
| ·判定薄膜损伤的方法 | 第30-31页 |
| ·散射光检测法 | 第30-31页 |
| ·相衬显微法 | 第31页 |
| ·等离子体闪光法 | 第31页 |
| ·测试激光损伤阈值的方法 | 第31-33页 |
| ·零几率损伤阈值 | 第31-32页 |
| ·50%几率损伤阈值 | 第32页 |
| ·R-on-1 损伤阈值 | 第32-33页 |
| ·小结 | 第33-34页 |
| 第四章 ZrO_2化学膜与物理膜损伤机理的对比研究 | 第34-54页 |
| ·制备ZrO_2化学膜和物理膜 | 第34-35页 |
| ·薄膜的测试 | 第35-48页 |
| ·ZrO_2化学膜和物理膜的损伤阈值的测量 | 第35-42页 |
| ·不同厚度ZrO_2化学膜的损伤阈值的测量 | 第36-38页 |
| ·不同厚度ZrO_2物理膜的损伤阈值的测量 | 第38-42页 |
| ·ZrO_2化学膜和物理膜的热吸收系数的测试 | 第42-46页 |
| ·ZrO_2化学膜和物理膜的孔隙率的测试 | 第46-48页 |
| ·ZrO_2化学膜和物理膜的折射率的测量 | 第46-47页 |
| ·ZrO_2化学膜和物理膜的孔隙率的计算 | 第47-48页 |
| ·实验结果及分析 | 第48-49页 |
| ·测试ZrO_2化学膜和物理膜的表面形貌 | 第49-52页 |
| ·ZrO_2化学膜和物理膜的原子力显微镜的观测形貌 | 第49-50页 |
| ·激光辐照前ZrO_2化学膜和物理膜膜层的显微观测形貌 | 第50-51页 |
| ·激光辐照后ZrO_2化学膜和物理膜膜层典型的损伤形貌 | 第51-52页 |
| ·小结 | 第52-54页 |
| 第五章 总结 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第61-62页 |
