PDMS微薄膜电容式表面应力生物传感器微加工及检测平台设计研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 微机电系统 | 第10-11页 |
| 1.2 生物微机电系统 | 第11-16页 |
| 1.2.1 生物传感器 | 第12-13页 |
| 1.2.2 表面应力生物传感器 | 第13-16页 |
| 1.2.3 信号检测方法 | 第16页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 电容式表面应力生物传感器微加工 | 第18-38页 |
| 2.1 MEMS 加工工艺 | 第18-22页 |
| 2.1.1 磁控溅射技术 | 第18-19页 |
| 2.1.2 光刻技术 | 第19-21页 |
| 2.1.3 刻蚀技术 | 第21-22页 |
| 2.2 表征设备 | 第22-24页 |
| 2.2.1 扫描电子显微镜（SEM） | 第22-23页 |
| 2.2.2 台阶仪 | 第23-24页 |
| 2.3 电容式生物传感器工艺流程及表征 | 第24-37页 |
| 2.3.1 电容式生物传感器工作原理 | 第24-25页 |
| 2.3.2 实验试剂及仪器 | 第25-26页 |
| 2.3.3 电容式生物传感器工艺流程 | 第26-28页 |
| 2.3.4 底电极工艺 | 第28-31页 |
| 2.3.5 牺牲层工艺 | 第31-32页 |
| 2.3.6 PDMS 微薄膜制备 | 第32-33页 |
| 2.3.7 顶电极工艺 | 第33-34页 |
| 2.3.8 PDMS 刻蚀准备 | 第34-35页 |
| 2.3.9 PDMS 刻蚀 | 第35页 |
| 2.3.10 牺牲层释放 | 第35-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 传感器检测平台设计 | 第38-54页 |
| 3.1 测量电路 | 第39-41页 |
| 3.1.1 核心芯片简介 | 第39-41页 |
| 3.1.2 电路设计及工作原理 | 第41页 |
| 3.2 数据传输系统 | 第41-44页 |
| 3.2.1 有线传输系统电路设计及工作原理 | 第41-42页 |
| 3.2.2 无线传输系统电路设计及工作原理 | 第42-44页 |
| 3.3 供电电路设计 | 第44-45页 |
| 3.4 数据处理软件 | 第45-53页 |
| 3.4.1 Qt 简介 | 第46页 |
| 3.4.2 功能描述 | 第46-53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 基于检测平台的测试 | 第54-60页 |
| 4.1 测量电路测试 | 第54-56页 |
| 4.2 传感器特性测试 | 第56-57页 |
| 4.3 生物测试实验 | 第57-59页 |
| 4.3.1 传感器功能化 | 第57-58页 |
| 4.3.2 血红蛋白测试 | 第58-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 总结 | 第60-61页 |
| 5.2 展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及所取得的研究成果 | 第68页 |
