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NiO_x:W电致变色薄膜研究及在无机全固态器件中的应用

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-23页
    1.1 电致变色材料概述第9-13页
        1.1.1 电致变色材料的发展历程第9-11页
        1.1.2 电致变色材料的分类第11-13页
    1.2 电致变色机理第13-14页
        1.2.1 WO_3的电致变色机理第13-14页
        1.2.2 NiO_x的电致变色机理第14页
    1.3 电致变色器件第14-16页
    1.4 薄膜的制备方法第16-20页
        1.4.1 真空蒸镀法第17页
        1.4.2 溶胶凝胶法第17页
        1.4.3 化学气相沉积法第17-18页
        1.4.4 电化学沉积法第18页
        1.4.5 磁控溅射法第18-20页
    1.5 NiO_x电致变色薄膜第20页
        1.5.1 NiO_x基本的物化性质第20页
        1.5.2 NiO_x的优点与问题第20页
    1.6 研究现状与本课题的选题意义第20-23页
第2章 实验内容第23-29页
    2.1 实验设备与所用材料第23-24页
    2.2 薄膜的分析与表征第24-27页
        2.2.1 膜厚测量第24页
        2.2.2 X射线衍射分析第24-25页
        2.2.3 表面形貌分析第25页
        2.2.4 透射光谱分析第25页
        2.2.5 成分价态分析第25-26页
        2.2.6 光谱椭偏分析第26页
        2.2.7 电致变色性能测试第26-27页
    2.3 本章小结第27-29页
第3章 氩氧比对W掺杂NiO_x薄膜的影响第29-47页
    3.1. 样品制备第29页
    3.2 成分价态分析第29-38页
        3.2.1 样品表面经Ar~+离子刻蚀后的XPS测试结果第30-33页
        3.2.2 样品表面未经Ar~+离子刻蚀的XPS测试结果第33-36页
        3.2.3 不同预处理方式下XPS测试结果的对比分析第36-38页
    3.3 晶体结构分析第38-39页
    3.4 表面形貌分析第39-42页
    3.5 透射光谱分析第42-44页
    3.6 光谱椭偏仪分析第44-46页
    3.7 本章小结第46-47页
第4章 镀膜过程工作气压对W掺杂NiO_x薄膜的影响第47-59页
    4.1 样品制备第47页
    4.2 成分价态分析第47-51页
    4.3 晶体结构分析第51-52页
    4.4 表面形貌分析第52-53页
    4.5 透射光谱分析第53-55页
    4.6 光谱椭偏仪分析第55-57页
    4.7 本章小结第57-59页
第5章 无机全固态电致变色器件的制备和性能测试第59-63页
    5.1 无机全固态电致变色器件的设计第59页
    5.2 无机全固态电致变色器件的制备和性能测试第59-61页
    5.3 本章小结第61-63页
结论与展望第63-65页
    1.结论第63页
    2.展望第63-65页
参考文献第65-71页
攻读学位期间参加科研情况及取得的研究成果第71-73页
致谢第73页

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