| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-21页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 微齿轮制造的研究现状 | 第13-18页 |
| 1.2.1 齿轮LIGA及准LIGA加工工艺 | 第13-14页 |
| 1.2.2 齿轮微刻蚀加工工艺 | 第14-15页 |
| 1.2.3 齿轮微细电火花线切割技术 | 第15-16页 |
| 1.2.4 齿轮微细切削技术 | 第16页 |
| 1.2.5 齿轮微塑性成形工艺 | 第16-18页 |
| 1.3 激光动态柔性冲裁微齿轮的提出 | 第18-19页 |
| 1.4 本课题研究的主要内容与意义 | 第19-20页 |
| 1.4.1 主要内容 | 第19-20页 |
| 1.4.2 研究意义 | 第20页 |
| 1.5 课题来源 | 第20-21页 |
| 第二章 激光动态柔性冲裁微齿轮的理论研究 | 第21-28页 |
| 2.1 激光诱导冲击波的机理及其力学模型 | 第21-25页 |
| 2.1.1 激光对物质的作用 | 第21页 |
| 2.1.2 等离子体冲击波形成机理 | 第21-22页 |
| 2.1.3 激光功率密度计算 | 第22-23页 |
| 2.1.4 激光诱导冲击波的压力计算 | 第23-25页 |
| 2.2 激光冲击波作用软模与冲击压力传递 | 第25页 |
| 2.3 材料的动态响应 | 第25-27页 |
| 2.3.1 激光加载下应变率的计算 | 第25-26页 |
| 2.3.2 材料的动态断裂机制 | 第26-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 激光动态柔性冲裁微齿轮的工艺参数研究 | 第28-43页 |
| 3.1 激光器与检测设备 | 第28-32页 |
| 3.1.1 激光器设备类型与参数 | 第28页 |
| 3.1.2 实验光路设计 | 第28-29页 |
| 3.1.3 离焦量的选择 | 第29-30页 |
| 3.1.4 检测设备与方法 | 第30-32页 |
| 3.2 微冲裁实验准备及装置 | 第32-33页 |
| 3.3 模具加工 | 第33-36页 |
| 3.3.1 微齿轮的CAXA参数化建模 | 第33-34页 |
| 3.3.2 微细电火花线切割加工模具 | 第34页 |
| 3.3.3 微模具检测 | 第34-36页 |
| 3.4 基于微齿轮模具的微冲裁实验 | 第36-42页 |
| 3.4.1 激光脉冲能量的影响 | 第36-37页 |
| 3.4.2 软模厚度的影响 | 第37-39页 |
| 3.4.4 软模硬度的影响 | 第39-40页 |
| 3.4.5 压边力的影响 | 第40-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 激光动态柔性冲裁微齿轮的尺寸效应研究 | 第43-60页 |
| 4.1 激光器与模具设计 | 第43-46页 |
| 4.1.1 激光器类型及参数 | 第43页 |
| 4.1.2 实验装置及光路对中 | 第43-44页 |
| 4.1.3 模具设计与检测 | 第44-46页 |
| 4.2 实验材料及热处理 | 第46-49页 |
| 4.3 纳米压痕测量方法及设备 | 第49-51页 |
| 4.4 尺寸效应对冲裁质量的影响 | 第51-54页 |
| 4.4.1 板厚的影响 | 第51-52页 |
| 4.4.2 晶粒尺寸的影响 | 第52-54页 |
| 4.5 断面特征 | 第54-55页 |
| 4.6 纳米压痕实验 | 第55-58页 |
| 4.7 本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 激光动态柔性冲裁微齿轮的数值模拟 | 第60-73页 |
| 5.1 软件平台搭建与模拟流程 | 第60-61页 |
| 5.2 材料的本构方程 | 第61-63页 |
| 5.2.1 工件材料的本构方程 | 第61-62页 |
| 5.2.2 硅胶软模的本构方程 | 第62页 |
| 5.2.3 黄铜箔的断裂失效模型 | 第62-63页 |
| 5.3 数值模拟的加载 | 第63-64页 |
| 5.4 有限元模型的建立 | 第64-65页 |
| 5.5 数值模拟分析结果 | 第65-72页 |
| 5.5.1 工件的变形阶段 | 第65-66页 |
| 5.5.2 激光脉冲能量对断面上材料的流动过程的影响 | 第66-67页 |
| 5.5.3 激光脉冲能量对变形过程的影响 | 第67-69页 |
| 5.5.4 激光脉冲能量对软模所承受压力的影响 | 第69-72页 |
| 5.6 本章小结 | 第72-73页 |
| 第六章 总结与展望 | 第73-76页 |
| 6.1 研究工作总结 | 第73-75页 |
| 6.2 展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82页 |