| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 研究背景和目的 | 第10-11页 |
| 1.2 关于氧化锌 | 第11-17页 |
| 1.2.1 氧化锌的晶体结构和基本性质 | 第11-13页 |
| 1.2.2 氧化锌的光学特性和缺陷 | 第13-15页 |
| 1.2.3 氧化锌研究历史与现状 | 第15-17页 |
| 1.3 本论文的主要工作 | 第17-18页 |
| 第2章 氧化锌薄膜的生长方法 | 第18-27页 |
| 2.1 常见的氧化锌薄膜的制备方法 | 第18-27页 |
| 第3章 利用Mist CVD生长高质量氧化锌薄膜的研究 | 第27-33页 |
| 3.1 Mist CVD | 第27-28页 |
| 3.2 载气流量对氧化锌薄膜质量的影响 | 第28-32页 |
| 3.3 生长温度对氧化锌薄膜质量的影响研究 | 第32-33页 |
| 第4章 薄膜的表征及评价 | 第33-46页 |
| 4.1 表征测试设备 | 第33-38页 |
| 4.1.1 X射线衍射( X-Ray Diffraction. XRD) | 第33-34页 |
| 4.1.2 扫描电子显微镜 （ Scanning Electronic Microscope. SEM） | 第34-35页 |
| 4.1.3 探针式台阶仪 | 第35-37页 |
| 4.1.4 光致发光(Photoluminescense.PL) | 第37-38页 |
| 4.2 不同气体流量样品的表征结果与评价 | 第38-42页 |
| 4.3 不同生长温度样品的表征结果与评价 | 第42-45页 |
| 4.4 小结 | 第45-46页 |
| 第5章 总结与展望 | 第46-50页 |
| 5.1 总结 | 第46-48页 |
| 5.2 展望 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
