| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 微机械谐振器件及其品质因数 | 第10-11页 |
| 1.2.1 微机械谐振器件 | 第10页 |
| 1.2.2 品质因数 | 第10-11页 |
| 1.3 微谐振器中气体阻尼及研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3.1 气体阻尼的分类与重要性 | 第11页 |
| 1.3.2 气体阻尼的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3.3 论文的研究意义 | 第13页 |
| 1.4 本文创新点和主要研究内容 | 第13-14页 |
| 1.4.1 本文的创新点 | 第13页 |
| 1.4.2 本文主要研究内容 | 第13-14页 |
| 1.5 本章小结 | 第14-15页 |
| 第二章 微谐振器挤压膜阻尼机理与两种典型模型 | 第15-23页 |
| 2.1 挤压膜阻尼的产生机理与主要研究方法 | 第15-16页 |
| 2.1.1 挤压膜阻尼产生的机理 | 第15页 |
| 2.1.2 几种挤压膜阻尼的研究方法 | 第15-16页 |
| 2.2 间隙气体控制方程-雷诺方程 | 第16-17页 |
| 2.2.1 可压缩气体的非线性雷诺方程 | 第16-17页 |
| 2.2.2 可压缩气体的线性雷诺方程 | 第17页 |
| 2.2.3 不可压缩气体的线性雷诺方程 | 第17页 |
| 2.3 与本文相关的两种典型的模型 | 第17-22页 |
| 2.3.1 Pan等[34]提出的扭转微谐振器件挤压膜阻尼模型 | 第18-21页 |
| 2.3.2 Bao等[40]提出的穿孔板微谐振器件挤压膜阻尼模型 | 第21-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 圆板扭转谐振器件的挤压膜阻尼机理与模型 | 第23-40页 |
| 3.1 圆板扭转谐振器件的挤压膜阻尼理论模型 | 第23-27页 |
| 3.1.1 运动微分方程 | 第24-25页 |
| 3.1.2 贝塞尔函数法求解雷诺方程 | 第25-27页 |
| 3.2 理论计算结果与FEM数值结果的比较 | 第27-39页 |
| 3.2.1 级数项q的选取 | 第27-29页 |
| 3.2.2 有限元数值模型的建立 | 第29-31页 |
| 3.2.3 圆板半径对系统挤压膜阻尼的影响 | 第31-33页 |
| 3.2.4 间隙气体厚度对系统挤压膜阻尼的影响 | 第33-35页 |
| 3.2.5 理论模型适用的频率范围 | 第35-37页 |
| 3.2.6 工作频率对系统挤压膜阻尼的影响 | 第37-39页 |
| 3.3 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 穿孔圆板扭转谐振器件的挤压膜阻尼机理与模型 | 第40-59页 |
| 4.1 穿孔圆板扭转谐振器件的挤压膜阻尼理论模型 | 第40-44页 |
| 4.1.1 运动微分方程 | 第41-42页 |
| 4.1.2 贝塞尔函数法求解雷诺方程 | 第42-44页 |
| 4.2 理论计算结果与FEM数值结果的比较 | 第44-57页 |
| 4.2.1 级数项q的选取 | 第44-45页 |
| 4.2.2 有限元数值模型的建立 | 第45-47页 |
| 4.2.3 穿孔比对系统挤压膜阻尼的影响 | 第47-49页 |
| 4.2.4 穿孔微圆板间隙气体厚度对系统挤压膜阻尼的影响 | 第49-51页 |
| 4.2.5 穿孔微圆板的板厚对系统挤压膜阻尼的影响 | 第51-53页 |
| 4.2.6 理论模型适用的频率范围 | 第53-56页 |
| 4.2.7 工作频率对系统挤压膜阻尼的影响 | 第56-57页 |
| 4.3 本章小结 | 第57-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 5.1 文章总结 | 第59页 |
| 5.2 不足与展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 附录A 圆板扭转挤压膜阻尼相关计算程序 | 第65-69页 |
| A-1. 求解挤压膜阻尼理论解Matlab程序 | 第65页 |
| A-2. 求解挤压膜阻尼数值解ANSYS程序 | 第65-69页 |
| 附录B 穿孔圆板扭转挤压膜阻尼相关计算程序 | 第69-76页 |
| B-1. 求解挤压膜阻尼理论解Matlab程序 | 第69-70页 |
| B-2. 求解挤压膜阻尼数值解ANSYS程序 | 第70-76页 |
| 附录C 攻读硕士学位期间研究成果 | 第76页 |
