| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 文献综述 | 第10-19页 |
| 1.1 铁基非晶 | 第10-12页 |
| 1.2 铁基非晶的氮化行为 | 第12-16页 |
| 1.3 稀土元素添加对铁基非晶的影响 | 第16-17页 |
| 1.4 离子注入 | 第17页 |
| 1.5 选题依据及意义 | 第17-19页 |
| 2 实验方案 | 第19-25页 |
| 2.1 本课题主要研究内容 | 第19页 |
| 2.2 实验设备及测试方法 | 第19-23页 |
| 2.2.1 单辊快淬 | 第19-20页 |
| 2.2.2 X射线衍射分析 | 第20-21页 |
| 2.2.3 振动样品磁强计 | 第21页 |
| 2.2.4 差示扫描量热 | 第21页 |
| 2.2.5 扫描电镜 | 第21-22页 |
| 2.2.6 X射线光电子能谱 | 第22页 |
| 2.2.7 俄歇电子能谱 | 第22-23页 |
| 2.3 实验技术流程图 | 第23-24页 |
| 2.4 本课题研究方案 | 第24-25页 |
| 3 SRIM软件对离子注入的模拟计算 | 第25-34页 |
| 3.1 离子注入技术 | 第25-28页 |
| 3.1.1 基本原理 | 第25-27页 |
| 3.1.2 基本结构 | 第27页 |
| 3.1.3 纵向浓度分布 | 第27-28页 |
| 3.1.4 注入损伤 | 第28页 |
| 3.1.5 离子注入特征 | 第28页 |
| 3.2 SRIM程序简介 | 第28-34页 |
| 3.2.1 不同加速电压的模拟计算 | 第30-31页 |
| 3.2.2 TRIM对不同电压的模拟结果 | 第31-34页 |
| 4 氮离子注入对Fe_(78)Si_9B_(13)非晶结构和磁性能的影响 | 第34-56页 |
| 4.1 注入剂量对Fe_(78)Si_9B_(13)非晶结构和磁性能的影响 | 第34-47页 |
| 4.1.1 实验方案 | 第34页 |
| 4.1.2 注入剂量对Fe_(78)Si_9B_(13)非晶结构和晶化过程的影响 | 第34-37页 |
| 4.1.3 注入剂量对Fe_(78)Si_9B_(13)软磁性能的影响 | 第37-40页 |
| 4.1.4 氮元素的分布规律研究 | 第40-47页 |
| 4.2 加速电压对FFe_(78)Si_9B_(13)非晶结构和磁性能的影响 | 第47-51页 |
| 4.2.1 实验方案 | 第47页 |
| 4.2.2 加速电压对Fe_(78)Si_9B_(13)非晶结构和晶化过程的影响 | 第47-49页 |
| 4.2.3 加速电压对Fe_(78)Si_9B_(13)软磁性能的影响 | 第49-50页 |
| 4.2.4 氮元素的分布规律研究 | 第50-51页 |
| 4.3 离子注入对磁致伸缩特性的影响 | 第51-52页 |
| 4.4 双面注入对Fe_(78)Si_9B_(13)非晶结构和磁性能的影响 | 第52-54页 |
| 4.4.1 实验方案 | 第52页 |
| 4.4.2 双面注入对Fe_(78)Si_9B_(13)非晶结构和磁性能的影响 | 第52-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-56页 |
| 5 稀土元素Y添加对Fe_(78)Si_9B_(13)非晶结构和磁性能的影响 | 第56-62页 |
| 5.1 实验方案 | 第56页 |
| 5.2 Y添加对Fe_(78)Si_9B_(13)非晶结构和晶化过程的影响 | 第56-59页 |
| 5.3 Y添加对Fe_(78)Si_9B_(13)非晶软磁性能的影响 | 第59-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-69页 |
| 攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
