声表面波气体传感器的模拟与仿真

摘要	第4-5页
ABSTRACT	第5页
第一章 绪论	第7-13页
1.1 研究背景	第7-9页
1.2 声表面波(SAW)传感器的研究现状	第9-11页
1.3 主要研究内容及工作安排	第11-13页
第二章 声表面波传感器的基本理论	第13-21页
2.1 瑞利波的性质	第13-16页
2.2 SAW的激励和接收	第16-17页
2.3 SAW气体传感器的结构及原理	第17-21页
第三章 SAW气体传感器的设计	第21-31页
3.1 基底材料的选择	第21-23页
3.2 叉指换能器(IDT)的设计	第23-30页
3.3 敏感膜的选择	第30-31页
第四章 声表面波TNT传感器敏感膜粘弹性研究	第31-38页
4.1 微扰理论	第31-32页
4.2 敏感膜吸收气体前粘弹性研究	第32-35页
4.3 敏感膜吸收气体后粘弹性研究	第35-38页
第五章 声表面波TNT气体传感器有限元建模与仿真	第38-48页
5.1 声表面波TNT气体传感器的建模	第38-40页
5.2 声表面波TNT气体传感器的模态分析	第40-43页
5.3 声表面波TNT气体传感器的时域分析	第43-46页
5.4 声表面波TNT气体传感器的灵敏度	第46-48页
第六章 总结	第48-49页
致谢	第49-50页
参考文献	第50-53页
攻读硕士学位期间发表的论文	第53页