摘要 | 第5-6页 |
Abstract | 第6-7页 |
第一章 绪论 | 第10-21页 |
1.1 研究背景与意义 | 第10-11页 |
1.2 金刚石薄膜 | 第11-14页 |
1.2.1 金刚石薄膜的结构 | 第11页 |
1.2.2 金刚石薄膜在特种环境中的应用 | 第11-13页 |
1.2.3 金刚石薄膜摩擦学性能的影响因素 | 第13-14页 |
1.3 类金刚石薄膜 | 第14-18页 |
1.3.1 类金刚石薄膜的结构 | 第14-15页 |
1.3.2 类金刚石薄膜在特种环境中的应用 | 第15-16页 |
1.3.3 类金刚石薄膜摩擦学性能的影响因素 | 第16-18页 |
1.4 选题依据 | 第18-19页 |
1.5 研究目的、内容与思路 | 第19-21页 |
第二章 实验方案 | 第21-32页 |
2.1 碳膜制备工艺 | 第21-27页 |
2.1.1 热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜 | 第21-25页 |
2.1.2 中频磁控溅射法制备类金刚石薄膜 | 第25-27页 |
2.2 表征方法 | 第27-32页 |
2.2.1 微观形貌 | 第27-29页 |
2.2.2 结构和成分分析 | 第29页 |
2.2.3 摩擦学性能 | 第29-32页 |
第三章 金刚石薄膜在空间钻探环境中摩擦磨损性能的研究 | 第32-40页 |
3.1 大气中4种不同温度下的摩擦学性能 | 第32-35页 |
3.2 真空中4种不同温度下的摩擦学性能 | 第35-37页 |
3.3 大气与真空环境中摩擦学性能的对比 | 第37-39页 |
3.4 本章小结 | 第39-40页 |
第四章 Cr/CrN_x/Cr_yC_z/Cr-DLC薄膜在海水环境中摩擦磨损性能的研究 | 第40-46页 |
4.1 多层梯度Cr-DLC薄膜的结构 | 第40-41页 |
4.2 多层梯度Cr-DLC薄膜的力学性能 | 第41-43页 |
4.3 多层梯度Cr-DLC薄膜在大气和海水中的摩擦学性能 | 第43-44页 |
4.4 本章小结 | 第44-46页 |
第五章 喷丝头冲针HFCVD金刚石镀膜 | 第46-53页 |
5.1 金刚石薄膜直接在冲针上的生长 | 第46-48页 |
5.2 TiN过渡层对冲针沉积金刚石薄膜的影响 | 第48-51页 |
5.3 冲针HFCVD金刚石薄膜的表面粗糙度 | 第51-52页 |
5.4 本章小结 | 第52-53页 |
第六章 结论 | 第53-54页 |
致谢 | 第54-55页 |
参考文献 | 第55-63页 |
个人简历 | 第63-64页 |
在学期间研究成果 | 第64页 |