流体场等效电路建模
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 流体场概念 | 第9-13页 |
| 1.1.1 流体的定义 | 第9页 |
| 1.1.2 流体流动分类 | 第9-13页 |
| 1.1.3 流体场研究意义 | 第13页 |
| 1.2 MEMS设计方法与MEMS CAD | 第13-15页 |
| 1.2.1 MEMS设计流程 | 第13-14页 |
| 1.2.2 MEMS CAD | 第14-15页 |
| 1.3 MEMS的建模分类 | 第15-17页 |
| 1.3.1 系统级设计 | 第16页 |
| 1.3.2 器件级设计 | 第16页 |
| 1.3.3 物理级设计 | 第16-17页 |
| 1.3.4 工艺级设计 | 第17页 |
| 1.4 等效电路建模 | 第17-18页 |
| 1.5 本论文的主要工作 | 第18-19页 |
| 第二章 MEMS器件等效电路建模方法及其拓展 | 第19-27页 |
| 2.1 F-V类比 | 第19-20页 |
| 2.2 F-I类比 | 第20-21页 |
| 2.3 耦合电感单元矩阵类比 | 第21-24页 |
| 2.3.1 分布式物理量矩阵形式 | 第21-22页 |
| 2.3.2 耦合电感电路提出 | 第22-23页 |
| 2.3.3 电路原理分析 | 第23-24页 |
| 2.4 等效电路实现系统级建模与分析 | 第24-25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-27页 |
| 第三章 压膜阻尼等效电路建模 | 第27-43页 |
| 3.1 微机械结构的空气阻尼 | 第27-30页 |
| 3.1.1 滑膜阻尼 | 第27-28页 |
| 3.1.2 压膜阻尼 | 第28页 |
| 3.1.3 压膜阻尼效应研究 | 第28-29页 |
| 3.1.4 对阻尼效应等效电路建模意义 | 第29-30页 |
| 3.2 方形薄膜等效电路建模 | 第30-35页 |
| 3.2.1 方形薄膜压膜阻尼运动模型 | 第30-31页 |
| 3.2.2 匝比与耦合系数的确定 | 第31页 |
| 3.2.3 等效电路建模的SPICE实现 | 第31-33页 |
| 3.2.4 示例分析 | 第33-35页 |
| 3.3 双端固支梁等效电路建模 | 第35-42页 |
| 3.3.1 大长宽比平板结构 | 第35-39页 |
| 3.3.2 双端固支梁的理论分析 | 第39-41页 |
| 3.3.3 双端固支梁等效电路建模 | 第41-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 热式风速传感器温度场的等效电路建模 | 第43-61页 |
| 4.1 风速风向传感器工作原理 | 第43-46页 |
| 4.1.1 热损失型风速计 | 第44-45页 |
| 4.1.2 热温差式检测 | 第45-46页 |
| 4.2 理论分析 | 第46-50页 |
| 4.2.1 一维传感器分析 | 第48-49页 |
| 4.2.2 二维传感器分析 | 第49-50页 |
| 4.3 温度场等效电路建模结果分析 | 第50-55页 |
| 4.4 误差分析 | 第55-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 附录 | 第69-83页 |
| 作者简介 | 第83页 |
