基于氧化锌薄膜晶体管的透明指纹识别系统
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 指纹识别技术 | 第11-14页 |
| 1.2 基于硅的电容式指纹识别技术 | 第14-18页 |
| 1.2.1 有源矩阵结构 | 第14-16页 |
| 1.2.2 感应电容的计算 | 第16-17页 |
| 1.2.3 基于硅的电容式传感器的基本结构 | 第17-18页 |
| 1.3 电容式指纹识别技术的研究现状 | 第18-23页 |
| 1.3.1 基于硅的商用指纹识别技术 | 第18-20页 |
| 1.3.2 氧化物TFTs的历史研究与现状 | 第20-23页 |
| 1.4 本文的选题依据和研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 ZnO-TFTs器件制备与工艺优化 | 第25-43页 |
| 2.1 ZnO材料特性 | 第25-28页 |
| 2.1.1 ZnO电学特性 | 第25-26页 |
| 2.1.2 氧化物TFT的电学特性 | 第26-28页 |
| 2.2 实验制备ZnO-TFTs | 第28-36页 |
| 2.2.1 ZnO-TFT顶栅结构 | 第32-33页 |
| 2.2.2 ZnO-TFTs的工艺制作流程 | 第33-36页 |
| 2.3 热退火对ZnO-TFTs性能的提升 | 第36-41页 |
| 2.3.1 前期退火实验的摸索 | 第37-39页 |
| 2.3.2 后续退火实验的优化 | 第39-41页 |
| 2.4 本章小结 | 第41-43页 |
| 第三章 透明电容式指纹识别传感器设计 | 第43-51页 |
| 3.1 引言 | 第43页 |
| 3.2 透明电容式指纹识别最小单元 | 第43-45页 |
| 3.3 新型有源矩阵单元设计 | 第45-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 第四章 指纹识别传感器测试 | 第51-63页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 测试平台 | 第51-52页 |
| 4.3 阵列测试 | 第52-62页 |
| 4.3.1 小阵列测试 | 第52-57页 |
| 4.3.2 大阵列测试 | 第57-62页 |
| 4.4 小结 | 第62-63页 |
| 第五章 外围电路及总体测试 | 第63-71页 |
| 5.1 引言 | 第63页 |
| 5.2 外围电路设计 | 第63-66页 |
| 5.2.1 PCB设计与测试 | 第63-65页 |
| 5.2.2 透明传感阵列bonding | 第65-66页 |
| 5.3 上位机程序 | 第66-69页 |
| 5.4 总结 | 第69-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 6.1 本文主要研究内容和成果 | 第71-72页 |
| 6.2 论文的不足之处及未来展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-81页 |
| 攻读硕士期间取得的科研成果 | 第81-83页 |
| 附录 | 第83-88页 |
