| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-30页 |
| 1.1 铁电体和铁电薄膜 | 第10-15页 |
| 1.1.1 铁电体 | 第10-13页 |
| 1.1.2 铁电薄膜 | 第13-15页 |
| 1.2 铁电薄膜存储器概述 | 第15-23页 |
| 1.2.1 非易失性存储器 | 第15-16页 |
| 1.2.2 铁电场薄膜储器的基本结构 | 第16-17页 |
| 1.2.3 铁电薄膜存储器的工作原理 | 第17-21页 |
| 1.2.4 铁电场效应晶体管存储器的应用前景 | 第21-23页 |
| 1.3 石墨烯概述 | 第23-25页 |
| 1.3.1 石墨烯的发现 | 第23-24页 |
| 1.3.2 石墨烯的结构和基本特性 | 第24-25页 |
| 1.4 石墨烯场效应晶体管(G-FET)的研究 | 第25-29页 |
| 1.4.1 石墨烯场效应晶体管(G-FET)的器件结构 | 第25-26页 |
| 1.4.2 石墨烯场效应晶体管(G-FET)的工作原理 | 第26-27页 |
| 1.4.3 石墨烯场效应晶体管(G-FET)的研究现状 | 第27-29页 |
| 1.5 本论文的选题依据和主要内容 | 第29-30页 |
| 第2章 薄膜材料的制备与表征方法 | 第30-39页 |
| 2.1 薄膜材料的制备方法 | 第30-34页 |
| 2.1.1 脉冲激光沉积(PLD)法 | 第30-31页 |
| 2.1.2 磁控溅射(magnetron sputtering)法 | 第31-32页 |
| 2.1.3 金属有机物化学气相沉积(MOCVD)法 | 第32-33页 |
| 2.1.4 溶胶-凝胶(Sol-Gel)法 | 第33-34页 |
| 2.2 微观结构表征方法 | 第34-36页 |
| 2.2.1 X射线衍射 | 第34-35页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜 | 第35-36页 |
| 2.3 电学性能表征方法 | 第36-38页 |
| 2.3.1 铁电分析仪 | 第36页 |
| 2.3.2 半导体参数分析仪 | 第36-37页 |
| 2.3.3 振动样品磁强计 | 第37-38页 |
| 2.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 BNTM铁电薄膜的制备与性能表征 | 第39-50页 |
| 3.1 引言 | 第39页 |
| 3.2 Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_(2.99)Mn_(0.01)O_(12)铁电薄膜的制备 | 第39-45页 |
| 3.2.1 实验所需药品及设备 | 第39-40页 |
| 3.2.2 前驱体溶液配制 | 第40-42页 |
| 3.2.3 匀胶与热处理 | 第42-45页 |
| 3.3 BNTM铁电薄膜的性能表征 | 第45-49页 |
| 3.3.1 BNTM铁电薄膜的微观结构表征 | 第45-46页 |
| 3.3.2 BNTM铁电薄膜的电学性能表征 | 第46-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 石墨烯的制备与性能表征 | 第50-58页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 石墨烯的制备 | 第50-53页 |
| 4.2.1 实验方法与设备 | 第50-52页 |
| 4.2.2 机械剥离法制备少层石墨烯 | 第52页 |
| 4.2.3 化学气相沉淀(CVD)法制备单层石墨烯 | 第52-53页 |
| 4.3 石墨烯的表征 | 第53-57页 |
| 4.3.1 石墨烯的光学显微表征 | 第54页 |
| 4.3.2 石墨烯的SEM表征 | 第54-55页 |
| 4.3.3 石墨烯的Raman表征 | 第55-56页 |
| 4.3.4 石墨烯的UV-Vis透过率表征 | 第56-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 铁电栅石墨烯场效应晶体管(G-FET)的制备与性能表征 | 第58-67页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 铁电栅G-FET的制备 | 第58-62页 |
| 5.2.1 铁电栅G-FET的工艺流程图 | 第58-60页 |
| 5.2.2 石墨烯的转移方法 | 第60-61页 |
| 5.2.3 光刻工艺实现电极图形化 | 第61-62页 |
| 5.2.4 电极的制备 | 第62页 |
| 5.3 铁电栅G-FET的性能测试 | 第62-66页 |
| 5.3.1 铁电栅G-FET的Ids-Vds曲线 | 第63页 |
| 5.3.2 铁电栅 G-FET 的转移特性 | 第63-65页 |
| 5.3.3 铁电栅 G-FET 的输出特性 | 第65-66页 |
| 5.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 第6章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 论文总结 | 第67-68页 |
| 6.2 研究进展 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 个人简历 | 第77-78页 |
| 在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第78页 |
