| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-19页 |
| 主要符号表 | 第19-20页 |
| 1 绪论 | 第20-41页 |
| ·研究背景及意义 | 第20-23页 |
| ·聚合物微器件简述 | 第20-21页 |
| ·聚合物微器件的应用 | 第21-23页 |
| ·国内外相关工作研究进展 | 第23-39页 |
| ·常规聚合物微纳结构成型技术 | 第23-30页 |
| ·聚合物超声波微纳结构成型技术 | 第30-39页 |
| ·本文主要研究思路与内容 | 第39-41页 |
| 2 聚合物超声压印工艺成型机理研究 | 第41-67页 |
| ·引言 | 第41-42页 |
| ·超声压印工艺填充机理 | 第42-55页 |
| ·填充行为理论分析 | 第42-44页 |
| ·填充行为有限元仿真模型 | 第44-45页 |
| ·压印实验 | 第45-50页 |
| ·有限元仿真结果及讨论 | 第50-55页 |
| ·基片-模具界面温度特性对阵列微结构填充过程的影响 | 第55-56页 |
| ·超声压印工艺产热机理 | 第56-66页 |
| ·粘弹产热速率的理论分析 | 第56-61页 |
| ·基片-模具界面温度特性的实验研究 | 第61-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 3 基于硅模具的室温超声压印工艺 | 第67-88页 |
| ·引言 | 第67页 |
| ·室温超声压印实验 | 第67-71页 |
| ·压印系统 | 第67-69页 |
| ·模具的设计制作 | 第69-70页 |
| ·工艺流程 | 第70-71页 |
| ·工艺参数对室温超声压印工艺复制质量的影响 | 第71-80页 |
| ·实验设计 | 第71-73页 |
| ·超声参数的影响 | 第73-77页 |
| ·保压参数的影响 | 第77-79页 |
| ·参数优化后的工艺复制质量 | 第79-80页 |
| ·微图形对室温超声压印工艺复制精度的影响 | 第80-86页 |
| ·实验设计 | 第80-81页 |
| ·占空比的影响 | 第81-83页 |
| ·密集微结构尺寸的影响 | 第83-84页 |
| ·模具凹凸类型的影响 | 第84-85页 |
| ·邻近效应的作用机制 | 第85-86页 |
| ·本章小结 | 第86-88页 |
| 4 界面热触发粘弹产热超声压印工艺 | 第88-104页 |
| ·引言 | 第88-89页 |
| ·压印系统 | 第89-90页 |
| ·新方法与已有方法的对比 | 第90-93页 |
| ·工艺流程 | 第90-91页 |
| ·复制结果的评价方法 | 第91-92页 |
| ·实验结果 | 第92-93页 |
| ·工艺参数对界面热触发粘弹产热超声压印工艺复制质量的影响 | 第93-99页 |
| ·超声参数的影响 | 第93-96页 |
| ·保压参数的影响 | 第96-98页 |
| ·参数优化后的工艺复制质量 | 第98-99页 |
| ·微图形对界面热触发粘弹产热超声压印工艺复制精度的影响 | 第99-101页 |
| ·占空比的影响 | 第99-100页 |
| ·密集微结构尺寸的影响 | 第100-101页 |
| ·模具凹凸类型的影响 | 第101页 |
| ·界面热触发粘弹产热超声压印工艺成型区温度特性 | 第101-102页 |
| ·本章小结 | 第102-104页 |
| 5 超声压印气泡空化机理及抑制方法研究 | 第104-134页 |
| ·引言 | 第104-105页 |
| ·气泡空化机理 | 第105-114页 |
| ·泡内气体种类和质量 | 第105-107页 |
| ·MMA气泡壁运动的理论分析 | 第107-109页 |
| ·气泡空化阈值条件推导 | 第109-112页 |
| ·空化气泡的运动状态 | 第112-114页 |
| ·空化机理验证 | 第114-126页 |
| ·验证实验 | 第114-116页 |
| ·成型面超声波附加压强分布 | 第116-117页 |
| ·成型面静压强分布 | 第117-118页 |
| ·成型面温度分布 | 第118-121页 |
| ·空化机理验证 | 第121-126页 |
| ·气泡抑制方法 | 第126-127页 |
| ·超声压印过程中的气泡空化程度 | 第127-133页 |
| ·静压强的影响 | 第128-129页 |
| ·超声振幅的影响 | 第129-131页 |
| ·温度的影响 | 第131-133页 |
| ·本章小节 | 第133-134页 |
| 6 非成型面粗糙缺陷形成机理及抑制方法研究 | 第134-141页 |
| ·引言 | 第134页 |
| ·非成型面粗糙缺陷的特点 | 第134-135页 |
| ·非成型面粗糙缺陷的形成原因及其抑制方法 | 第135-136页 |
| ·非成型面粗糙缺陷的形成原因 | 第135页 |
| ·基于摩擦系数差法的非成型面粗糙缺陷抑制方法 | 第135-136页 |
| ·表面保护膜的优化选取 | 第136-140页 |
| ·测量聚合物软化时间的极小值法 | 第137-138页 |
| ·表面保护膜的优化选取 | 第138-140页 |
| ·本章小结 | 第140-141页 |
| 7 结论与展望 | 第141-144页 |
| ·结论 | 第141-142页 |
| ·创新点摘要 | 第142-143页 |
| ·展望 | 第143-144页 |
| 参考文献 | 第144-151页 |
| 攻读博士学位期间科研项目及科研成果 | 第151-152页 |
| 致谢 | 第152-153页 |
| 作者简介 | 第153页 |
