基于偏振相干技术的光学面形在线检测系统设计
| 中文摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 中文文摘 | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·论文产生的背景及意义 | 第8-9页 |
| ·国内外发展状况 | 第9-13页 |
| ·国内发展状况 | 第10-11页 |
| ·国外发展状况 | 第11-13页 |
| ·论文主要内容 | 第13-14页 |
| 第2章 光学元件面形检测 | 第14-20页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·样板法面形检测 | 第14-16页 |
| ·面形偏差 | 第14-15页 |
| ·局部面形偏差 | 第15-16页 |
| ·数字波面干涉仪法面形检测 | 第16-18页 |
| ·干涉仪基本结构 | 第16-17页 |
| ·PV、Power及RMS描述面形偏差 | 第17-18页 |
| ·N、AN与PV、RMS的区别和联系 | 第18页 |
| ·本章小结 | 第18-20页 |
| 第3章 基于偏振相干的光学面形在线检测系统设计 | 第20-38页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·基本原理 | 第20-21页 |
| ·偏振相干面形检测原理 | 第21-24页 |
| ·偏振相干面形检测系统建模和分析 | 第24页 |
| ·偏振相干面形检测系统设计 | 第24-30页 |
| ·光源的选择 | 第25-26页 |
| ·扩束准直系统的选择 | 第26页 |
| ·分光镜的选择 | 第26-28页 |
| ·偏振片的选择 | 第28页 |
| ·四分之一波片的选择 | 第28-30页 |
| ·实验过程和图像采集 | 第30-35页 |
| ·对比度影响因素 | 第30-32页 |
| ·系统光路调节 | 第32-33页 |
| ·采集的图片对比 | 第33-35页 |
| ·系统的在线检测装置 | 第35-36页 |
| ·系统的样机效果图 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 检测系统误差分析 | 第38-44页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·非偏振元件的误差分析 | 第38页 |
| ·偏振元件的误差分析 | 第38-43页 |
| ·四分之一波片的误差分析 | 第38-40页 |
| ·偏振片的误差分析 | 第40-42页 |
| ·偏振分光棱镜的误差分析 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第5章 总结与展望 | 第44-48页 |
| ·工作总结 | 第44页 |
| ·系统的优点和创新点 | 第44-45页 |
| ·系统尚需改进之处 | 第45-46页 |
| ·工作展望 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-54页 |
| 攻读学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-58页 |
| 个人简历 | 第58-61页 |
