石英摆片性能及其影响因素的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| ·石英玻璃材料 | 第8-9页 |
| ·石英摆片介绍 | 第9-11页 |
| ·国内外发展现状 | 第11-12页 |
| ·本文研究目的和意义 | 第12-14页 |
| 第2章 摆片加工工艺及检测设备 | 第14-24页 |
| ·摆片加工工艺 | 第14-17页 |
| ·石英玻璃基材应力消除 | 第14-15页 |
| ·石英玻璃基片冷加工 | 第15页 |
| ·摆片刻图 | 第15-16页 |
| ·摆片酸刻蚀 | 第16-17页 |
| ·摆片镀膜 | 第17页 |
| ·检测设备 | 第17-24页 |
| ·尺寸检测 | 第18-19页 |
| ·形貌检测 | 第19-20页 |
| ·凸台高度及挠性梁厚度测量 | 第20-21页 |
| ·下摆量测量 | 第21页 |
| ·振动频率测量 | 第21-22页 |
| ·检测设备测量范围和精度 | 第22-24页 |
| 第3章 摆片尺寸、形貌对其性能的影响 | 第24-44页 |
| ·摆片的尺寸精度控制 | 第25-31页 |
| ·基片冷加工 | 第25页 |
| ·激光刻图 | 第25-27页 |
| ·酸蚀速率 | 第27-31页 |
| ·摆片表面质量控制 | 第31-35页 |
| ·研磨抛光 | 第31-32页 |
| ·酸刻蚀 | 第32-34页 |
| ·其他因素 | 第34-35页 |
| ·摆片尺寸、形貌对其性能的影响 | 第35-42页 |
| ·石英摆片理论分析 | 第35-38页 |
| ·挠性梁尺寸对摆片性能的影响 | 第38-39页 |
| ·挠性梁表面形貌摆片性能的影响 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第4章 材料及假想温度对摆片性能的影响 | 第44-60页 |
| ·不同石英玻璃的结构和性质 | 第44-45页 |
| ·石英玻璃的假想温度 | 第45-51页 |
| ·假想温度定义和玻璃化转变 | 第45-47页 |
| ·假想温度表征 | 第47-49页 |
| ·假想温度与石英玻璃性质的关系 | 第49-51页 |
| ·材料、T_f对摆片性能的影响 | 第51-58页 |
| ·材料对摆片下摆量、振动频率的影响 | 第51-52页 |
| ·摆片稳定性表征方法 | 第52-53页 |
| ·摆片 T_f实验 | 第53-56页 |
| ·摆片稳定性分析 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 总结 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文及专利 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
