MEMS平面磁芯螺旋微电感的制造技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-27页 |
| ·微电感的研究进展 | 第7-10页 |
| ·微电感器件结构特点 | 第10-14页 |
| ·螺线管型电感器件 | 第10-11页 |
| ·曲折结构电感器件 | 第11-12页 |
| ·夹心条状结构电感器件 | 第12页 |
| ·平面螺旋型电感器件 | 第12-14页 |
| ·磁芯材料的分类及其性能 | 第14-15页 |
| ·铁氧体 | 第14页 |
| ·非晶、纳米晶软磁材料 | 第14-15页 |
| ·坡莫合金 | 第15页 |
| ·微电感的损耗机制 | 第15-18页 |
| ·欧姆损耗 | 第15-16页 |
| ·磁性材料的损耗 | 第16-17页 |
| ·衬底损耗 | 第17-18页 |
| ·微电感的应用 | 第18-22页 |
| ·微电感在基本电路中的应用 | 第18-19页 |
| ·微电感在 DC/DC 变换器中的应用 | 第19-22页 |
| ·本课题研究的意义及主要内容 | 第22-24页 |
| ·本课题研究的意义 | 第22-23页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第23-24页 |
| 参考文献 | 第24-27页 |
| 第二章 平面磁芯螺旋微电感的理论研究 | 第27-39页 |
| ·电感器件的物理基础 | 第27页 |
| ·线圈和磁芯模型及计算 | 第27-32页 |
| ·无磁芯方形平面螺旋电感模型及其计算 | 第27-29页 |
| ·磁芯模型 | 第29-31页 |
| ·电感量的计算 | 第31-32页 |
| ·品质因子 Q | 第32-34页 |
| ·Q 值的定义 | 第32页 |
| ·集成电感的 Q 值 | 第32-34页 |
| ·电感的参数计算 | 第34-37页 |
| ·线圈导体模型 | 第34页 |
| ·寄生电容 | 第34-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 参考文献 | 第38-39页 |
| 第三章 平面磁芯螺旋微电感的 MEMS 制备工艺 | 第39-53页 |
| ·基本工艺过程 | 第39-45页 |
| ·光刻工艺 | 第39-42页 |
| ·微电镀工艺 | 第42页 |
| ·溅射沉积 | 第42-43页 |
| ·刻蚀工艺 | 第43-44页 |
| ·聚酰亚胺工艺 | 第44-45页 |
| ·工艺检测 | 第45页 |
| ·平面磁芯螺旋微电感的工艺流程 | 第45-49页 |
| ·平面磁芯螺旋微电感的样品图 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-53页 |
| 第四章 平面磁芯螺旋微电感的测试与分析 | 第53-70页 |
| ·微电感的测试原理 | 第53-55页 |
| ·平面磁芯螺旋微电感的性能测试 | 第55-68页 |
| ·结果分析与讨论 | 第68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-70页 |
| 第五章 总结和展望 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第73-75页 |
