碳化硅承载台磨削工艺参数的优化研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·课题研究意义和课题来源 | 第10-11页 |
| ·课题研究意义 | 第10-11页 |
| ·课题来源 | 第11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-17页 |
| ·硬脆材料磨削机理研究现状 | 第11-12页 |
| ·碳化硅精密加工技术的发展 | 第12-13页 |
| ·磨削工艺参数优化研究现状 | 第13-16页 |
| ·磨削表面粗糙度 | 第16-17页 |
| ·研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 碳化硅承载台加工试验 | 第18-29页 |
| ·试验条件 | 第18-21页 |
| ·承载台加工要求 | 第18-19页 |
| ·试验设备选择 | 第19-21页 |
| ·切削液的选择 | 第21页 |
| ·承载台的加工工艺 | 第21-24页 |
| ·工件的装夹 | 第22-23页 |
| ·磨头的选择 | 第23页 |
| ·加工方法 | 第23-24页 |
| ·承载台加工的试验设计 | 第24-28页 |
| ·试验方法选择 | 第25-26页 |
| ·正交试验基本思想 | 第26-27页 |
| ·正交试验参数设置 | 第27页 |
| ·正交试验方案 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 试验数据分析 | 第29-44页 |
| ·试验结果分析 | 第29-39页 |
| ·加工工艺参数对使用磨头个数的影响 | 第29-35页 |
| ·加工工艺参数对表面粗糙度的影响 | 第35-39页 |
| ·碳化硅与微晶玻璃工艺参数的比较分析 | 第39-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 承载台磨削参数的优化研究 | 第44-51页 |
| ·灰色关联度分析 | 第44-46页 |
| ·灰生成 | 第44-45页 |
| ·灰色关联度 | 第45页 |
| ·灰色加权模型 | 第45-46页 |
| ·基于加权灰色关联度的多目标工艺参数优化 | 第46-49页 |
| ·试验验证 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |
