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基横模1.55μm半导体激光器研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-7页
第一章 绪论第7-12页
   ·引言第7-8页
   ·基横模1.55μm半导体激光器的研究背景第8-10页
   ·本文的研究目的和意义第10页
   ·本文研究内容第10-12页
第二章 半导体激光器的模式特性第12-18页
   ·半导体激光器的基本理论第12-13页
   ·半导体激光器的模式特性第13-16页
   ·基横模半导体激光器的特点第16-17页
   ·本章小结第17-18页
第三章 基横模1.55μm半导体激光器的结构设计第18-34页
   ·半导体激光器几何结构设计第18-22页
   ·半导体激光器外延材料设计第22-27页
   ·半导体激光器量子阱数目的优化第27-29页
   ·模式特性分析第29-32页
   ·本章小结第32-34页
第四章 基横模1.55μm半导体激光器的工艺实验第34-46页
   ·半导体激光器的工艺实验第34-38页
   ·等离子体刻蚀技术第38-42页
   ·InP的干法刻蚀工艺第42-44页
   ·器件的测试与分析第44-45页
   ·本章小结第45-46页
第五章 总结第46-47页
致谢第47-48页
参考文献第48-50页
攻读硕士学位期间发表的论文第50页

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