MEMS数字固体微推进器的制备与性能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-17页 |
| ·研究背景 | 第10-11页 |
| ·国外研究现状 | 第11-13页 |
| ·国内研究现状 | 第13-15页 |
| ·纳米铝热剂在微推进中的应用 | 第15-16页 |
| ·本论文研究工作 | 第16-17页 |
| 2 微推进系统方案设计 | 第17-29页 |
| ·总体结构设计 | 第17页 |
| ·各层材料的选择 | 第17-21页 |
| ·药室层材料选择 | 第18-20页 |
| ·点火层基底选择 | 第20-21页 |
| ·喷口层材料选择 | 第21页 |
| ·点火电路的设计 | 第21-25页 |
| ·金属硅化物薄膜点火桥的设计 | 第22-23页 |
| ·多晶硅桥膜的设计 | 第23-24页 |
| ·单层引线点火电路的设计 | 第24-25页 |
| ·系统封装设计 | 第25-28页 |
| ·常用键合方法 | 第25-26页 |
| ·微推进器的层间结构键合 | 第26-27页 |
| ·推进系统的逻辑控制 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 微推进器用药剂制备与性能研究 | 第29-41页 |
| ·纳米铝热剂的制备及表征 | 第29-36页 |
| ·溶胶-凝胶法制备纳米Al/CuO | 第29-32页 |
| ·纳米Al/CuO的表征 | 第32-33页 |
| ·超声共混法制备纳米Al/Bi_2O_3 | 第33-34页 |
| ·纳米Al/Bi_2O_3的表征 | 第34-36页 |
| ·纳米铝热剂在微推进器中的应用研究 | 第36-40页 |
| ·激光点火试验 | 第37-38页 |
| ·不同配比药剂DSC测试 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 点火电路制备及性能测试 | 第41-51页 |
| ·金属硅化物薄膜点火桥的制备 | 第41-42页 |
| ·金属硅化物薄膜点火桥的性能探究 | 第42-43页 |
| ·多晶硅桥膜的制备与性能探究 | 第43-46页 |
| ·点火桥的优化设计 | 第46-48页 |
| ·点火电路层的制备 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 5 微推进器阵列性能测试 | 第51-59页 |
| ·微推进器系统封装 | 第51-52页 |
| ·点火匹配性实验研究 | 第52-53页 |
| ·喷口层对点火性能的影响 | 第53-55页 |
| ·单元冲量测试 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 6 总结与展望 | 第59-61页 |
| ·总结与讨论 | 第59页 |
| ·未来工作展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
