| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-29页 |
| ·MEMS技术的概述 | 第11-18页 |
| ·MEMS技术的概念和特点 | 第11-14页 |
| ·MEMS技术的发展 | 第14-16页 |
| ·MEMS技术在军事中的应用 | 第16-18页 |
| ·MEMS惯性开关 | 第18-26页 |
| ·MEMS惯性开关的工作原理 | 第18-19页 |
| ·MEMS惯性开关的特点和分类 | 第19-25页 |
| ·引信用MEMS惯性开关 | 第25-26页 |
| ·引信特殊环境对MEMS惯性开关性能需求 | 第26-27页 |
| ·MEMS惯性开关目前存在的问题 | 第27-28页 |
| ·本文的研究目的和主要研究内容 | 第28-29页 |
| 第二章 悬臂梁开关的多物理场耦合特性分析 | 第29-55页 |
| ·弹性性能分析 | 第29-32页 |
| ·静电驱动特性分析 | 第32-36页 |
| ·静电驱动原理 | 第32-33页 |
| ·静电吸合效应 | 第33-35页 |
| ·负弹簧效应的影响 | 第35-36页 |
| ·静电-结构耦合特性分析 | 第36-43页 |
| ·等效刚度法静电-结构耦合分析 | 第36-37页 |
| ·模态叠加法静电-结构耦合分析 | 第37-38页 |
| ·有限元反馈法静电-结构耦合分析 | 第38-43页 |
| ·阻尼特性分析 | 第43-54页 |
| ·雷诺方程 | 第43-46页 |
| ·惯性力和静电力耦合作用下开关压膜阻尼模型 | 第46-48页 |
| ·惯性力和静电力耦合作用下悬臂梁开关挤压膜阻尼计算 | 第48-54页 |
| ·小结 | 第54-55页 |
| 第三章 悬臂梁开关的阈值可调技术 | 第55-77页 |
| ·可调阈值惯性开关的基本原理 | 第55-59页 |
| ·开关基本工作原理 | 第55-56页 |
| ·开关阈值可调原理分析 | 第56-59页 |
| ·可调阈值惯性开关的系统级分析 | 第59-64页 |
| ·系统级分析方法 | 第59-60页 |
| ·开关的系统级模型建立 | 第60-62页 |
| ·开关的准静态特性分析 | 第62-64页 |
| ·吸合电压分析 | 第62-63页 |
| ·迟滞分析 | 第63-64页 |
| ·开关的动态特性分析 | 第64-69页 |
| ·瞬态分析 | 第64-68页 |
| ·模态分析 | 第68-69页 |
| ·可调阈值惯性开关性能分析 | 第69-72页 |
| ·响应角度分析 | 第69-71页 |
| ·灵敏度分析 | 第71-72页 |
| ·抗过载能力分析 | 第72页 |
| ·尺寸参数对开关性能的影响分析 | 第72-75页 |
| ·基于蒙特卡洛法的误差分析 | 第75-76页 |
| ·悬臂梁厚度方向误差对吸合电压的影响 | 第75-76页 |
| ·悬臂梁厚度方向误差对开关闭合时间的影响 | 第76页 |
| ·小结 | 第76-77页 |
| 第四章 多弹性支撑环形分布式开关的万向技术 | 第77-97页 |
| ·多弹性支撑环形分布式万向惯性开关工作原理 | 第77-80页 |
| ·多弹性支撑环形分布式结构形式 | 第78-79页 |
| ·惯性开关基本工作原理 | 第79-80页 |
| ·静态特性分析 | 第80-89页 |
| ·S型折叠悬臂梁弹性性能分析 | 第80-87页 |
| ·S型折叠悬臂梁刚度的有限元仿真 | 第87-88页 |
| ·开关系统刚度计算 | 第88-89页 |
| ·动态特性分析 | 第89-94页 |
| ·工作模态分析 | 第89-90页 |
| ·工作瞬态分析 | 第90-94页 |
| ·基本性能分析 | 第94-96页 |
| ·阈值影响分析 | 第94-95页 |
| ·响应角度分析 | 第95页 |
| ·灵敏度分析 | 第95-96页 |
| ·开关抗高过载分析 | 第96页 |
| ·小结 | 第96-97页 |
| 第五章 MEMS惯性开关的测试方法 | 第97-109页 |
| ·MEMS器件测试的基本原理与方法 | 第97-98页 |
| ·多弹性支撑环形分布式开关的制作 | 第98-102页 |
| ·开关加工的工艺流程 | 第98-101页 |
| ·开关的封装工艺 | 第101-102页 |
| ·开关静态实验测试 | 第102-105页 |
| ·尺寸检测 | 第102-104页 |
| ·接触电阻检测 | 第104-105页 |
| ·开关冲击实验测试 | 第105-108页 |
| ·开关阈值测试 | 第105-106页 |
| ·开关抗高过载性能测试 | 第106-108页 |
| ·小结 | 第108-109页 |
| 第六章 总结与展望 | 第109-111页 |
| 致谢 | 第111-112页 |
| 参考文献 | 第112-117页 |
| 攻读博士期间发表的论文与申请的专利 | 第117页 |