| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·课题研究的目的与意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-14页 |
| ·国外研究现状 | 第11-14页 |
| ·国内研究现状 | 第14页 |
| ·本论文的主要研究内容和创新之处 | 第14-15页 |
| ·论文结构 | 第15-17页 |
| 第二章 平面螺旋谐振器及微波微等离子体的基本理论 | 第17-26页 |
| ·平面螺旋谐振器的理论模型 | 第17页 |
| ·电磁波在谐振器中传播的基本理论 | 第17-19页 |
| ·平面螺旋电感谐振器S参量和Q值的分析 | 第19-22页 |
| ·平面螺旋电感谐振器S参量 | 第19-21页 |
| ·平面螺旋电感谐振器Q值 | 第21-22页 |
| ·微波微等离子体在谐振器中的激励过程 | 第22-26页 |
| ·微等离子体反应过程中的能量传递与温度变化 | 第22-23页 |
| ·电感耦合微等离子体放电工作状态与耦合 | 第23-26页 |
| 第三章 小功率微波微等离子体实验系统与特性测试理论 | 第26-35页 |
| ·实验系统的组成及原理 | 第26-28页 |
| ·平面螺旋谐振器的制造及封装 | 第26-27页 |
| ·实验系统的组成 | 第27-28页 |
| ·小功率微波微等离子体的光谱特性、阻抗特性和外加磁场特性研究 | 第28-35页 |
| ·微波微等离子体的光谱特性 | 第28-30页 |
| ·微波微等离子体的阻抗特性 | 第30-31页 |
| ·微波微等离子体外加磁场特性 | 第31-35页 |
| 第四章 小功率微波微等离子体空气条件下实验数据与分析 | 第35-53页 |
| ·未加载磁铁 | 第35-37页 |
| ·激励功率与压强的关系 | 第35-36页 |
| ·反射系数与频率的关系 | 第36-37页 |
| ·加载磁铁1(360G) | 第37-40页 |
| ·激励功率与压强的关系 | 第37-39页 |
| ·反射系数与频率的关系 | 第39-40页 |
| ·加载磁铁2(990G) | 第40-42页 |
| ·激励功率与压强的关系 | 第40-41页 |
| ·反射系数与频率的关系 | 第41-42页 |
| ·加载磁铁3(2840G) | 第42-46页 |
| ·激励功率与压强的关系 | 第42-45页 |
| ·反射系数与频率的关系 | 第45-46页 |
| ·空气条件下光谱图分析 | 第46-53页 |
| ·5.0Torr时光谱图 | 第46-48页 |
| ·8.6Torr时光谱图 | 第48-49页 |
| ·加载2840G磁铁,N极向外时光谱图分析 | 第49-53页 |
| 第五章 小功率微波微等离子体氩气条件下实验数据与分析 | 第53-65页 |
| ·未加载磁铁 | 第54-56页 |
| ·微波微等离子体点亮和熄灭时的输入功率图 | 第54-55页 |
| ·氨气输入功率与压强的关系图 | 第55-56页 |
| ·反射系数与频率的关系图 | 第56页 |
| ·加磁铁1(990G) | 第56-59页 |
| ·点亮和熄灭时的输入功率图 | 第57-58页 |
| ·反射系数与频率的关系图 | 第58-59页 |
| ·场强仪测量结果 | 第59页 |
| ·加磁铁2(2840G) | 第59-62页 |
| ·点亮和熄灭时的输入功率图 | 第59-61页 |
| ·反射系数与频率的关系图 | 第61-62页 |
| ·场强仪测量结果 | 第62页 |
| ·氩气条件下光谱图分析 | 第62-63页 |
| ·氩气100Pa压强下光谱图分析 | 第62-63页 |
| ·平面螺旋电感谐振器腐蚀性 | 第63-64页 |
| ·氩气条件下微等离子体源温度的分析 | 第64-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-67页 |
| ·总结 | 第65-66页 |
| ·展望 | 第66-67页 |
| 研究生期间发表论文 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
