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硅基稀土掺杂氧化物半导体薄膜电致发光器件

摘要第1-7页
Abstract第7-12页
第一章 前言第12-14页
第二章 文献综述第14-56页
   ·引言第14页
   ·稀土的基本性质第14-18页
     ·原子结构和物化性质第14-15页
     ·光学性能第15-18页
   ·稀土发光材料的研究进展第18-56页
     ·Er掺杂Si基材料的发光性能第18-28页
     ·稀土掺杂Ⅲ-Ⅴ族半导体材料的发光性能第28-32页
     ·稀土掺杂ZnO基发光材料第32-45页
     ·稀土掺杂TiO_2基发光材料第45-56页
第三章 材料和器件的制备方法及表征第56-60页
   ·材料和器件的制备设备第56页
     ·磁控溅射设备第56页
     ·热蒸发设备第56页
     ·旋涂设备第56页
     ·热处理设备第56页
   ·材料和器件的制备工艺第56-57页
     ·衬底准备第56-57页
     ·发光层薄膜制备第57页
     ·电极制备第57页
   ·材料和器件的测试设备第57-60页
     ·晶体结构、形貌与组成的表征设备第57-58页
     ·光学性能测试设备第58-59页
     ·电学性能测试设备第59-60页
第四章 ZnO:Er/p~+-Si异质结器件的电致发光第60-74页
   ·引言第60-61页
   ·ZnO:Er薄膜的制备第61页
   ·ZnO:Er薄膜的表征第61-67页
   ·ZnO:Er/p~+-Si异质结器件的电致发光第67-71页
   ·电致发光的机理分析第71-72页
   ·小结第72-74页
第五章 硅基Mg_xZn_(1-x)O/ZnO:RE异质结器件的电致发光第74-92页
   ·引言第74-75页
   ·Mg_xZn_(1-x)O/ZnO:RE薄膜的制备第75-76页
   ·各层薄膜的表征第76-81页
   ·硅基Mg_xZn_(1-x)O/ZnO:RE异质结器件的电致发光第81-84页
   ·器件结构对器件电致发光的影响第84-88页
   ·电致发光的机理分析第88-90页
   ·小结第90-92页
第六章 TiO_2:Er/p~+-Si异质结器件的电致发光第92-104页
   ·引言第92页
   ·TiO_2:Er薄膜的制备第92-93页
   ·TiO_2:Er薄膜的表征第93-97页
   ·TiO_2:Er/p~+-Si异质结器件的电致发光第97-100页
   ·电致发光的机理分析第100-102页
   ·小结第102-104页
第七章 通过Al的共掺调控TiO_2:Er/p~+-Si异质结器件的电致发光第104-116页
   ·引言第104页
   ·Al和Er共掺杂TiO_2薄膜的制备第104-105页
   ·掺Al前后对TiO_2:Er薄膜性能的影响分析第105-110页
   ·掺Al前后对TiO_2:Er/p~+-Si异质结器件的电致发光的影响第110-112页
   ·Al的共掺对TiO_2中Er发光调控的机制分析第112-115页
   ·小结第115-116页
第八章 TiO_2:Nd/p~+-Si异质结器件的红外电致发光第116-128页
   ·引言第116页
   ·TiO_2:Nd薄膜的制备第116-117页
   ·TiO_2:Nd薄膜的表征第117-120页
   ·TiO_2:Nd/p~+-Si异质结器件的红外电致发光第120-123页
   ·电致发光的机理分析第123-126页
   ·小结第126-128页
第九章 总结第128-132页
参考文献第132-146页
致谢第146-148页
个人简历第148-150页
攻读学位期间发表的学术论文与取得的其它研究成果第150-151页

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