微电感涡流传感器检测金属磨粒的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-23页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·磨粒检测的国内外研究现状 | 第10-16页 |
| ·传统检测方法 | 第10-12页 |
| ·新型在线检测方法 | 第12-16页 |
| ·微电感器件的相关研究 | 第16-21页 |
| ·微电感的研究现状 | 第16-17页 |
| ·微电感的分类 | 第17-21页 |
| ·本课题的研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 平面螺旋微电感的理论计算 | 第23-37页 |
| ·电磁场计算的物理基础 | 第23页 |
| ·基于分段法的微线圈电感计算 | 第23-32页 |
| ·基于分段法的微线圈模型分析 | 第23-25页 |
| ·基于分段法的微线圈电感计算 | 第25-32页 |
| ·基于 Jenei 法的微线圈电感计算 | 第32-36页 |
| ·基于 Jenei 法的微线圈模型分析 | 第32页 |
| ·基于 Jenei 法的微线圈电感计算 | 第32-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 基于有限元软件的微电感检测仿真 | 第37-49页 |
| ·有限元仿真软件的选择 | 第37-38页 |
| ·微电感检测仿真 | 第38-44页 |
| ·微线圈模型的导入 | 第38-39页 |
| ·设置边界条件 | 第39-40页 |
| ·材料模型的建立 | 第40页 |
| ·电磁场模型的设置 | 第40-41页 |
| ·网格划分 | 第41-43页 |
| ·微电感检测仿真原理 | 第43-44页 |
| ·仿真结果与分析 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第4章 微电感涡流传感器的设计与制作 | 第49-67页 |
| ·微电感涡流传感器的设计 | 第49-53页 |
| ·结构设计 | 第49页 |
| ·版图设计 | 第49-52页 |
| ·工艺流程设计 | 第52-53页 |
| ·微电感涡流传感器的关键 MEMS 制作工艺 | 第53-60页 |
| ·制膜工艺 | 第53-55页 |
| ·电镀工艺 | 第55-57页 |
| ·溅射工艺 | 第57-58页 |
| ·光刻工艺 | 第58-60页 |
| ·微电感涡流传感器的制作 | 第60-64页 |
| ·制作底部电极 | 第60-61页 |
| ·制作底部电极与线圈连接端 | 第61-62页 |
| ·制作平面螺旋线圈 | 第62-64页 |
| ·制作平面螺旋线圈保护膜 | 第64页 |
| ·工艺问题及解决方案 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第5章 微电感涡流传感器静态检测金属磨粒的实验 | 第67-79页 |
| ·微金属磨粒检测装置的设计 | 第67-68页 |
| ·微金属磨粒的制作 | 第68-69页 |
| ·静态检测实验 | 第69-78页 |
| ·静态检测原理 | 第69-70页 |
| ·静态检测实验 | 第70-76页 |
| ·静态检测实验结果分析 | 第76-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 结论 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-85页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第85-87页 |
| 致谢 | 第87页 |
