微梁器件动力学特性研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·前言 | 第10-11页 |
| ·研究现状 | 第11-17页 |
| ·微梁结构MEMS动力学 | 第11-13页 |
| ·MEMS传感器 | 第13-15页 |
| ·微悬臂梁压阻传感器 | 第15-17页 |
| ·本文工作及框架 | 第17-20页 |
| 第二章 裂纹微悬臂梁单自由度系统非线性动力学分析 | 第20-34页 |
| ·引言 | 第20-21页 |
| ·裂纹梁刚度模型 | 第21-23页 |
| ·系统动力学模型 | 第23-25页 |
| ·数值仿真 | 第25-32页 |
| ·裂纹梁呼吸刚度模型 | 第25-27页 |
| ·静电驱动裂纹微梁共振频率分析 | 第27-29页 |
| ·非线性动力学行为 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 裂纹微梁连续体系统非线性动力学分析 | 第34-58页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·机电耦合动力学模型建立 | 第34-38页 |
| ·裂纹微梁机电耦合自由振动分析 | 第38-43页 |
| ·静态位移求解 | 第39-40页 |
| ·模态分析 | 第40-43页 |
| ·裂纹微梁机电耦合受迫振动分析 | 第43页 |
| ·吸合效应 | 第43-44页 |
| ·数值仿真及结果分析 | 第44-56页 |
| ·静态位移分析 | 第45-46页 |
| ·模态分析 | 第46-48页 |
| ·自由振动分析 | 第48-55页 |
| ·受迫振动分析 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第四章 压阻悬臂梁MEMS传感器灵敏度 | 第58-74页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·悬臂梁MEMS传感器 | 第58-62页 |
| ·硅的压阻效应和MEMS悬臂梁关系 | 第60-61页 |
| ·压敏电阻MEMS悬臂梁设计 | 第61-62页 |
| ·提高压阻MEMS悬臂梁灵敏度 | 第62-64页 |
| ·基于ANSYS的有限元分析 | 第64-66页 |
| ·结果与讨论 | 第66-72页 |
| ·不同类型SCR压阻MEMS悬臂梁分析 | 第66-70页 |
| ·多种尺寸矩形SCR的压阻MEMS悬臂梁分析 | 第70-72页 |
| ·结论 | 第72-74页 |
| 第五章 总结与展望 | 第74-76页 |
| ·全文总结 | 第74-75页 |
| ·研究展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第83-84页 |
| 附件 | 第84页 |
