| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·本文的研究领域及研究背景 | 第10-15页 |
| ·MEMS 技术的基本概念及发展 | 第10-12页 |
| ·MEMS 技术在军事中的使用 | 第12-15页 |
| ·MEMS 在弹药安全与控制系统中的应用 | 第15-17页 |
| ·引信发火控制系统的炸点控制 | 第15-16页 |
| ·MIMU 用于母弹引信开舱点的自适应控制 | 第16页 |
| ·MEMS 用于引信安全系统保险/解除保险的状态控制 | 第16-17页 |
| ·研究目的及意义 | 第17-18页 |
| 第2章 结构设计 | 第18-31页 |
| ·引信设计准则 | 第18-19页 |
| ·引信概念 | 第18页 |
| ·引信设计要点 | 第18-19页 |
| ·MEMS 的设计及仿真技术的应用 | 第19-23页 |
| ·MEMS 设计要求及方法 | 第19-20页 |
| ·MEMS 的建模和仿真技术的应用 | 第20-22页 |
| ·常用 MEMS 仿真软件介绍 | 第22-23页 |
| ·MEMS 安保机构设计 | 第23-24页 |
| ·本论文安保机构的设计与仿真分析 | 第24-31页 |
| ·后坐解锁部分结构设计及仿真分析 | 第24-27页 |
| ·钟表延时部分机构设计及仿真分析 | 第27-31页 |
| 第3章 加工工艺 | 第31-37页 |
| ·微制造技术简介 | 第31-33页 |
| ·LIGA 加工技术 | 第33-37页 |
| 第4章 试验验证及结果分析 | 第37-46页 |
| ·引信工作原理 | 第37-38页 |
| ·试验验证 | 第38-45页 |
| ·卡销部分验证 | 第39-41页 |
| ·后坐部分验证 | 第41-42页 |
| ·整体验证试验与仿真 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 MEMS 安保机构的结构设计与改进 | 第46-61页 |
| ·弹簧刚度分析 | 第46-51页 |
| ·S 型微弹簧设计依据 | 第46-47页 |
| ·弹簧尺寸测量及误差分析 | 第47-50页 |
| ·弹簧刚度分析 | 第50-51页 |
| ·结论 | 第51页 |
| ·弹簧设计 | 第51-55页 |
| ·挂锁部分设计 | 第55-59页 |
| ·测量接触速度 | 第55-56页 |
| ·挂锁结构的动力学仿真 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 总结 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |