| 摘要 | 第1-9页 |
| ABSTRACT | 第9-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| ·多铁材料的研究背景 | 第12-15页 |
| ·铁电性 | 第12-13页 |
| ·铁磁性 | 第13-15页 |
| ·多铁材料 BiFeO_3的晶体结构及其特性 | 第15-21页 |
| ·BiFeO_3材料的研究背景 | 第15-16页 |
| ·BiFeO_3的晶体结构及其特性 | 第16页 |
| ·BiFeO_3薄膜的研究进展 | 第16-21页 |
| ·研究本课题的目的及意义 | 第21页 |
| ·本课题的主要工作 | 第21-23页 |
| 第二章 实验方案设计与研究方法 | 第23-31页 |
| ·试验所需化学试剂及常用测试仪器 | 第23-24页 |
| ·BiFeO_3薄膜的制备 | 第24-27页 |
| ·铁电薄膜制备工艺 | 第24-25页 |
| ·BiFe_(0.95)Mn_(0.05O3)前驱体溶液的配制 | 第25页 |
| ·BiFe_(0.97)Mn_(0.03O3)前驱体溶液的配制 | 第25页 |
| ·BiFeO_3薄膜的制备工艺流程 | 第25-27页 |
| ·BiFeO_3薄膜的表征手段 | 第27-31页 |
| ·X 射线衍射 | 第27-28页 |
| ·铁电测试仪 | 第28页 |
| ·原子力显微镜 | 第28-30页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第30-31页 |
| 第三章 单层厚度对 BiFe_(0.95)Mn_(0.05O3)薄膜结构与性能的影响 | 第31-44页 |
| ·引言 | 第31-32页 |
| ·单层厚度对 BiFe_(0.95)Mn_(0.05O3)薄膜结构与性能的影响 | 第32-42页 |
| ·单层厚度和退火温度对 BiFe_(0.95)Mn_(0.05O3)薄膜结构的影响 | 第32-34页 |
| ·不同层厚的 BiFe_(0.95)Mn_(0.05O3)薄膜的 SEM 图 | 第34-36页 |
| ·不同层厚和不同退火温度对 BiFe_(0.95)Mn_(0.05O3)薄膜漏电流的影响 | 第36-37页 |
| ·不同层厚和不同退火温度的 BiFe_(0.95)Mn_(0.05O3)薄膜的漏电流机制 | 第37-39页 |
| ·不同层厚和不同退火温度的 BiFe_(0.95)Mn_(0.05O3)薄膜的电滞回线图 | 第39-41页 |
| ·不同层厚和不同退火温度的 BiFe_(0.95)Mn_(0.05O3)薄膜剩余极化关系图 | 第41-42页 |
| ·小结 | 第42-44页 |
| 第四章 Bi 过量对 BiFe_(0.97)Mn_(0.03O3)薄膜铁电性能的影响 | 第44-60页 |
| ·引言 | 第44-45页 |
| ·Bi 过量对 BiFe_(0.97)Mn_(0.03O3)薄膜结构与性能的影响 | 第45-58页 |
| ·不同退火温度对 Bi 过量 20%的 BFMO 薄膜结构的影响 | 第45-48页 |
| ·不同 Bi 过量对 425℃退火的 BFMO 薄膜结构的影响 | 第48-49页 |
| ·不同退火温度对 Bi 过量 20%的 BFMO 薄膜表面形貌的影响 | 第49-50页 |
| ·不同 Bi 过量对 425℃退火的 BFMO 薄膜的表面形貌影响 | 第50-51页 |
| ·不同 Bi 过量对 425℃退火的 BFMO 薄膜的漏电流影响 | 第51-53页 |
| ·不同 Bi 过量对 500℃退火的 BFMO 薄膜的铁电性能的影响 | 第53-54页 |
| ·不同 Bi 过量对 475℃退火的 BFMO 薄膜的铁电性能的影响 | 第54-56页 |
| ·不同 Bi 过量对 450℃退火的 BFMO 薄膜的铁电性能的影响 | 第56-57页 |
| ·不同 Bi 过量对 425℃退火的 BFMO 薄膜的铁电性能的影响 | 第57-58页 |
| ·小结 | 第58-60页 |
| 第五章 结论与展望 | 第60-63页 |
| ·主要研究结论 | 第60-61页 |
| ·主要创新点 | 第61页 |
| ·下一步展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 附录 | 第71页 |
