| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| ·课题研究的背景 | 第11页 |
| ·膜基界面结合强度检测技术的现状及发展趋势 | 第11-13页 |
| ·课题研究来源、目的及意义 | 第13-14页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第14-15页 |
| 第二章 膜基界面常见检测方法和激光划痕检测技术 | 第15-31页 |
| ·涂(膜)层与基体界面结合的机理 | 第15-18页 |
| ·表面涂层与基体间结合界面的类型 | 第15-17页 |
| ·表面涂层与基体界面间的结合力 | 第17-18页 |
| ·几种常见的膜基界面结合强度检测方法 | 第18-27页 |
| ·划痕法 | 第19-21页 |
| ·拉伸法 | 第21页 |
| ·超声波测试法 | 第21-22页 |
| ·激光层裂法 | 第22-23页 |
| ·压痕法 | 第23-25页 |
| ·鼓泡法 | 第25-27页 |
| ·激光划痕检测技术介绍 | 第27-30页 |
| ·激光划痕原理 | 第27-29页 |
| ·激光划痕检测技术的特点 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 激光自动划痕检测系统的硬件组成与系统集成的软件设计 | 第31-65页 |
| ·激光自动划痕检测系统的硬件组成 | 第31-49页 |
| ·激光器系统 | 第33-39页 |
| ·半导体激光器及工作模式 | 第33-37页 |
| ·电调Q脉冲Nd:YAG固体激光器及工作模式 | 第37-39页 |
| ·工作台系统 | 第39-45页 |
| ·界面结合状况检测诊析系统 | 第45-49页 |
| ·红外热成像仪功能 | 第45-46页 |
| ·光强度功率计功能 | 第46-47页 |
| ·He-Ne激光器功能 | 第47-48页 |
| ·CCD成像相机功能 | 第48-49页 |
| ·激光自动划痕检测系统集成的软件设计 | 第49-63页 |
| ·Nd:YAG激光器自动划痕的软件设计 | 第50-58页 |
| ·半导体激光器自动划痕的软件设计 | 第58-60页 |
| ·划痕界面结合状况检测诊析系统的软件设计 | 第60-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第四章 长脉冲红外激光划痕涂层的理论分析 | 第65-75页 |
| ·红外激光划痕涂层的热应力及温度场的理论研究 | 第65-68页 |
| ·涂层热应力模型 | 第65-66页 |
| ·激光划痕涂层的温度场数学模型研究 | 第66-68页 |
| ·涂层界面结合强度的力学研究 | 第68-72页 |
| ·热弹性力学理论基础 | 第68-69页 |
| ·涂层的应力应变模型 | 第69-71页 |
| ·涂层界面结合强度的力学计算 | 第71-72页 |
| ·涂层失效破坏临界位置点的分析 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第五章 长脉冲红外激光划痕涂层的实验研究 | 第75-88页 |
| ·实验目的 | 第75页 |
| ·试样制备 | 第75-76页 |
| ·实验装置和实验方法 | 第76-78页 |
| ·实验结果与分析 | 第78-86页 |
| ·划痕前后涂层应变分析 | 第78-81页 |
| ·不同划痕速度下涂层温度变化与应力变化分析 | 第81-85页 |
| ·各温度转折点处对应激光功率的计算与分析 | 第85-86页 |
| ·本章小结 | 第86-88页 |
| 第六章 YAG脉冲激光冲击划痕无约束层TIN涂层的实验研究 | 第88-98页 |
| ·实验目的 | 第88页 |
| ·实验原理分析 | 第88-91页 |
| ·脉冲激光冲击划痕无约束层膜基试样的一般原理 | 第88-89页 |
| ·脉冲激光冲击无约束层涂层的模型研究 | 第89-90页 |
| ·冲击波压力对TiN涂层的影响分析 | 第90-91页 |
| ·实验方法 | 第91-92页 |
| ·TiN试样制备 | 第91页 |
| ·试验过程 | 第91-92页 |
| ·试验结果与分析 | 第92-97页 |
| ·激光冲击划痕前的涂层残余应力分析 | 第92-93页 |
| ·激光冲击划痕后的涂层应力分布特点 | 第93-95页 |
| ·激光冲击应力波对涂层结合强度影响分析 | 第95-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 第七章 总结与展望 | 第98-100页 |
| ·全文总结 | 第98-99页 |
| ·工作展望 | 第99-100页 |
| 参考文献 | 第100-103页 |
| 致谢 | 第103-104页 |
| 附录A 系统程序部分源代码 | 第104-121页 |
| 附录B 读研期间发表的论文 | 第121页 |