| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·磁控溅射技术发展现状 | 第9-10页 |
| ·磁控溅射工作原理及特点 | 第10-12页 |
| ·磁控溅射工作原理 | 第10-11页 |
| ·磁控溅射特点 | 第11-12页 |
| ·磁控溅射电源现状 | 第12-13页 |
| ·本课题研究内容 | 第13页 |
| ·电源系统组成 | 第13-16页 |
| ·电源系统框图 | 第13-14页 |
| ·电源设计指标 | 第14-16页 |
| 第二章 模块式磁控溅射有限双极性电源系统设计 | 第16-32页 |
| ·ZVZCS PWM DC/DC 全桥变换器和控制方式 | 第16-21页 |
| ·PWM DC/DC 全桥变换器控制方式 | 第16-19页 |
| ·ZVZCS 全桥变换器实现条件 | 第19-20页 |
| ·有限双极限和移相两种控制方式比较 | 第20-21页 |
| ·单模块设计 | 第21-30页 |
| ·有限双极性控制过程分析及后级辅助电路的器件选择 | 第21-25页 |
| ·高频变压器设计 | 第25-28页 |
| ·主功率管及输出整流二极管选择 | 第28-29页 |
| ·输出滤波器设计 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 多模块并联均流设计 | 第32-38页 |
| ·并联均流实现方法及方案选择 | 第32-34页 |
| ·并联均流实现方法 | 第32-34页 |
| ·均流方案选择 | 第34页 |
| ·并联均流芯片UC3907 介绍 | 第34-36页 |
| ·均流控制电路设计 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 电源调试及实验结果分析 | 第38-45页 |
| ·电源调试 | 第38-41页 |
| ·ZVZCS 单模块部分的调试 | 第38-40页 |
| ·均流部分调试 | 第40-41页 |
| ·实验结果分析 | 第41-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 全文总结及展望 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 附录A 攻读学位期间所发表的学术论文目录 | 第50-51页 |
| 附录B 有限双极性ZVZCS PWM DC/DC 的小信号建模及分析 | 第51-54页 |