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化学气相沉积法制备ZrO2涂层的显微结构与性能研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-8页
第一章 绪论第8-18页
   ·C/C材料的烧蚀机理第8-10页
     ·C/C材料的热化学烧蚀第8-9页
     ·C/C复合材料的机械剥蚀机理第9-10页
   ·提高C/C材料抗烧蚀性能的途径第10-13页
     ·基体改性第11页
     ·涂层技术第11-13页
   ·氧化锆涂层第13-16页
     ·氧化锆的性质第13页
     ·氧化锆涂层在C/C复合材料中的应用进展第13-14页
     ·氧化锆涂层的制备方法第14-16页
   ·研究目的、研究内容及研究方案第16-18页
     ·研究目的第16页
     ·论文主要研究内容第16-17页
     ·研究方案第17-18页
第二章 化学气相沉积ZrO_2涂层的热力学分析与实验方法第18-27页
   ·化学气相沉积ZrO_2涂层反应热力学分析第18-22页
     ·ZrCl_4-H_2-CO_2-Ar体系的热力学分析第18-21页
     ·ZrCl_4-ZrC-CO_2-Ar体系的热力学分析第21-22页
     ·ZrCl_4-SiC-CO_2-Ar体系的热力学分析第22页
   ·实验方法第22-25页
     ·反应设备第22-23页
     ·反应原材料第23-24页
     ·内部涂层的制备第24-25页
   ·涂层检测方法与检测设备第25-27页
     ·X射线衍射分析第25页
     ·SEM表面形貌及组织结构分析第25页
     ·能谱分析第25-26页
     ·微观力学性能测试第26页
     ·烧蚀性能测试第26-27页
第三章 化学气相沉积ZrO_2涂层的沉积速率与沉积均匀性第27-36页
   ·沉积速率及沉积均匀性的确定第27-28页
   ·温度对化学气相沉积ZrO_2沉积速率及沉积均匀性的影响第28-29页
   ·氢气流量对化学气相沉积ZrO_2的沉积速率及沉积均匀性的影响第29-30页
   ·沉积基体对化学气相沉积ZrO_2沉积速率及沉积均匀性的影响第30-31页
   ·沉积流程对化学气相沉积ZrO_2沉积速率及沉积均匀性的影响第31-33页
     ·连续沉积及非连续沉积流程的定义第31页
     ·沉积速率及沉积均匀性的计算第31-33页
   ·工艺参数对化学气相沉积ZrO_2涂层沉积速率及沉积均匀性的影响机理第33-35页
   ·本章小结第35-36页
第四章 化学气相沉积ZrO_2及其复合涂层的显微结构特征第36-49页
   ·化学气相沉积ZrO_2涂层的显微结构特征第36-47页
     ·温度对化学气相沉积ZrO_2涂层显微结构特征的影响第36-41页
     ·氢气流量对化学气相沉积ZrO_2涂层微观结构影响第41-42页
     ·不同基体对化学气相沉积ZrO_2涂层的微观结构的影响第42-45页
     ·沉积流程对化学气相沉积ZrO_2涂层涂层的微观结构的影响第45-46页
     ·化学气相沉积ZrO_2涂层的表面过程机理第46-47页
   ·ZrO_2+C单层复合涂层的制备第47-48页
   ·本章小结第48-49页
第五章 化学气相沉积ZrO_2涂层的微观力学性能与界面结合力第49-53页
   ·化学气相沉积ZrO_2涂层的微观力学性能的测定第49-50页
   ·化学气相沉积ZrO_2涂层的界面结合力第50-52页
   ·本章小结第52-53页
第六章 化学气相沉积ZrO_2及其复合涂层的烧蚀性能第53-62页
   ·ZrO_2涂层及其复合涂层的烧蚀性能第53-54页
   ·ZrO_2涂层及其复合涂层烧蚀后的显微结构特征第54-58页
   ·ZrO_2及其复合涂层的烧蚀机理第58-61页
   ·本章小结第61-62页
第七章 研究结论第62-63页
参考文献第63-67页
致谢第67-68页
攻读学位期间主要的研究成果第68页

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