| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-26页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·自然界中的尘埃等离子体现象 | 第12-15页 |
| ·土星环中的轮辐结构 | 第12-13页 |
| ·"黄道光"的发现和解释 | 第13-14页 |
| ·地球大气层中的尘埃颗粒 | 第14页 |
| ·实验室尘埃等离子体 | 第14-15页 |
| ·尘埃等离子的最新研究进展 | 第15-18页 |
| ·尘埃等离子体晶格 | 第15-17页 |
| ·尘埃空洞 | 第17-18页 |
| ·尘埃声波 | 第18页 |
| ·尘埃等离子体实验研究方法 | 第18-22页 |
| ·朗谬尔探针诊断法 | 第19-20页 |
| ·发射光谱诊断法 | 第20-22页 |
| ·激光散射法 | 第22页 |
| ·本文的研究背景和内容 | 第22-26页 |
| ·本文研究背景 | 第22-24页 |
| ·本文研究内容 | 第24-26页 |
| 2 实验装置及诊断手段 | 第26-36页 |
| ·实验装置 | 第26-28页 |
| ·朗谬尔探针诊断 | 第28-33页 |
| ·朗谬尔探针 | 第28-29页 |
| ·朗谬尔探针的结构 | 第29页 |
| ·朗谬尔探针的改造 | 第29-31页 |
| ·基于鞘层扩展理论求解尘埃等离子体参数 | 第31-33页 |
| ·发射光谱诊断 | 第33-36页 |
| ·发射光谱的光谱分析 | 第33-34页 |
| ·等离子体中的光谱辐射 | 第34-35页 |
| ·相对强度法确定激发温度 | 第35页 |
| ·斜率法确定激发温度 | 第35-36页 |
| 3 SiH_4/C_2H_4/Ar放电中尘埃颗粒的产生及空洞现象 | 第36-50页 |
| ·尘埃颗粒的产生方法 | 第36页 |
| ·尘埃颗粒产生及分析 | 第36-41页 |
| ·等离子体中形成尘埃颗粒分析 | 第38-39页 |
| ·尘埃颗粒在等离子体中的聚集现象研究 | 第39-41页 |
| ·尘埃云和尘埃空洞 | 第41-45页 |
| ·讨论 | 第45-48页 |
| ·小结 | 第48-50页 |
| 4 尘埃等离子体参数测量 | 第50-74页 |
| ·电子密度和电子温度的测量 | 第50-64页 |
| ·尘埃颗粒对等离子体中电子密度和电子温度影响 | 第50-52页 |
| ·实验条件变化对电子密度和电子温度的影响 | 第52-55页 |
| ·尘埃平均带电量和尘埃密度的计算 | 第55-64页 |
| ·离子密度的测量和校正 | 第55-56页 |
| ·尘埃平均带电量的计算 | 第56-58页 |
| ·结果和讨论 | 第58-64页 |
| ·混合气体放电等离子体光谱测量和计算 | 第64-72页 |
| ·放电生成的产物光发射强度测量 | 第64-67页 |
| ·激发温度计算 | 第67-69页 |
| ·理论依据 | 第67页 |
| ·斜率法求解激发温度 | 第67-69页 |
| ·实验结果和讨论 | 第69-72页 |
| ·激发温度和电子温度关系讨论 | 第71-72页 |
| ·小结 | 第72-74页 |
| 5 尘埃颗粒与鞘层相互作用数值模拟 | 第74-81页 |
| ·尘埃等离子体鞘层模型 | 第74-78页 |
| ·模型的建立 | 第74-75页 |
| ·无量纲化及参数选取 | 第75-76页 |
| ·尘埃颗粒带电量计算及讨论 | 第76-77页 |
| ·尘埃等离子体鞘层的玻姆判据 | 第77-78页 |
| ·数值模拟结果与讨论 | 第78-80页 |
| ·小结 | 第80-81页 |
| 6 结论和展望 | 第81-84页 |
| 参考文献 | 第84-92页 |
| 创新点摘要 | 第92-93页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第93-94页 |
| 致谢 | 第94-95页 |