| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-23页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·等离子体及离子注入表面改性技术 | 第10-11页 |
| ·离子注入对强化材料性能的影响 | 第11-14页 |
| ·材料表面强度 | 第11-12页 |
| ·材料抗腐蚀性能 | 第12-13页 |
| ·材料表面耐磨性能 | 第13页 |
| ·材料抗氧化性能 | 第13-14页 |
| ·国内外相关技术发展现状 | 第14-22页 |
| ·等离子体及离子注入表面改性技术应用研究现状 | 第14-16页 |
| ·不锈钢表面改性应用研究现状 | 第16-17页 |
| ·类金刚石薄膜的研究及应用现状 | 第17-19页 |
| ·CNx超硬质薄膜的研究及应用现状 | 第19页 |
| ·金属离子源（MEVVA）离子注入研究及应用现状 | 第19-21页 |
| ·等离子体基离子注入技术在应用中存在的问题 | 第21-22页 |
| ·选题意义及本文主要研究内容 | 第22-23页 |
| 第2章 实验设备及实验方法 | 第23-31页 |
| ·实验设备 | 第23-26页 |
| ·实验设备简介 | 第23页 |
| ·等离子体产生手段 | 第23-26页 |
| ·实验方法 | 第26-31页 |
| ·实验材料 | 第26页 |
| ·样品制备 | 第26-27页 |
| ·实验工艺 | 第27-30页 |
| ·性能测试 | 第30-31页 |
| 第3章 等离子体浸没碳离子注入及钛碳共注研究 | 第31-53页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·X 射线衍射(X-Ray Diffraction)分析 | 第31-33页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS)分析 | 第33-38页 |
| ·硬度测试分析 | 第38-42页 |
| ·等离子体浸没离子注入碳处理薄膜的硬度测试分析 | 第38-41页 |
| ·Ti、C共注处理薄膜的硬度测试分析 | 第41-42页 |
| ·摩擦磨损性能测试 | 第42-50页 |
| ·等离子体浸没离子注碳处理薄膜的摩擦磨损性能分析 | 第42-47页 |
| ·Ti、C共注处理薄膜的摩擦磨损性能分析 | 第47-50页 |
| ·腐蚀性能测试结果 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第4章 等离子体浸没碳氮离子复合注入工艺研究 | 第53-62页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·XRD分析 | 第53-54页 |
| ·碳氮离子复合注入薄膜的硬度测试分析 | 第54-55页 |
| ·碳氮离子复合注入薄膜的摩擦磨损性能 | 第55-60页 |
| ·碳氮离子复合注入薄膜的耐腐蚀性能 | 第60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 致谢 | 第68页 |