| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-20页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·MEMS疲劳试验方法 | 第9-15页 |
| ·静电谐振法 | 第9-11页 |
| ·电磁驱动法 | 第11-12页 |
| ·压电激励法 | 第12-13页 |
| ·超声激励法 | 第13-14页 |
| ·纳米压痕法 | 第14-15页 |
| ·铜材料微构件的疲劳特性 | 第15-19页 |
| ·本论文所要研究的内容 | 第19-20页 |
| 第2章 基于准LIGA 技术的电镀铜薄膜试件制作 | 第20-28页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·准LIGA 技术介绍 | 第20-23页 |
| ·铜薄膜试件制作工艺流程 | 第23-25页 |
| ·铜薄膜试件制作结果 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-28页 |
| 第3章 电镀铜薄膜疲劳试验 | 第28-42页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·电镀铜薄膜疲劳试验 | 第28-32页 |
| ·试验系统组成 | 第28-29页 |
| ·试件装卡 | 第29-30页 |
| ·试验机应变采集误差测定 | 第30-32页 |
| ·试验参数选择 | 第32页 |
| ·试验结果及分析 | 第32-41页 |
| ·铜薄膜S-N 曲线 | 第32-35页 |
| ·电镀铜薄膜疲劳滞后环特征 | 第35页 |
| ·块体、微尺度铜拉伸疲劳强度对比 | 第35-37页 |
| ·铜薄膜疲劳断口微观观察 | 第37-39页 |
| ·铜薄膜循环变形行为 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 电镀铜薄膜缺口件寿命预测研究 | 第42-54页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·循环应力-应变曲线的确定 | 第42-48页 |
| ·应变寿命曲线的确定 | 第48-50页 |
| ·局部应力应变法预测缺口件疲劳寿命 | 第50-53页 |
| ·缺口处局部应力和应变值的确定 | 第50-52页 |
| ·缺口件寿命预测结果 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 基于超磁致伸缩原理的微机械疲劳试验装置设计 | 第54-63页 |
| ·引言 | 第54-55页 |
| ·试验装置原理 | 第55-59页 |
| ·超磁致伸缩材料介绍 | 第55页 |
| ·超磁致悬臂梁驱动器驱动原理 | 第55-57页 |
| ·试验系统组成 | 第57-59页 |
| ·试件结构设计 | 第59-62页 |
| ·拉伸疲劳试件结构 | 第59-60页 |
| ·弯曲疲劳试件结构 | 第60-61页 |
| ·弯扭疲劳试件结构 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读工学硕士学位期间发表的学术论文 | 第68页 |
| 攻读工学硕士学位期间申请的发明专利 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |