| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-22页 |
| ·纳米科学与技术 | 第8-10页 |
| ·纳米科技简介 | 第8页 |
| ·纳米科技发展史 | 第8-9页 |
| ·纳米技术发展趋势 | 第9-10页 |
| ·纳米材料 | 第10-15页 |
| ·纳米材料及其分类 | 第10-11页 |
| ·纳米材料发展历程 | 第11-12页 |
| ·纳米材料的制备方法 | 第12-14页 |
| ·纳米材料的独特效应 | 第14-15页 |
| ·ZnO纳米材料 | 第15-17页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第15-16页 |
| ·ZnO纳米材料制备 | 第16页 |
| ·ZnO气敏材料及其应用 | 第16-17页 |
| ·气敏传感器 | 第17-19页 |
| ·气敏传感器的分类 | 第17-18页 |
| ·气敏传感器结构及特点 | 第18-19页 |
| ·气敏传感器机理的研究现状及趋势 | 第19页 |
| ·本课题的目的、意义及主要研究内容 | 第19-22页 |
| ·本课题的目的及意义 | 第19-20页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第20-22页 |
| 2 实验过程 | 第22-32页 |
| ·实验技术路线及方案 | 第22-23页 |
| ·实验主要技术路线及方案 | 第22-23页 |
| ·实验流程及研究方案 | 第23页 |
| ·实验制备相关仪器与材料 | 第23-24页 |
| ·主要试剂和表征仪器 | 第23-24页 |
| ·气敏ZnO纳米材料的制备 | 第24-26页 |
| ·物理热蒸发法制备ZnO纳米线 | 第24-26页 |
| ·各种元素掺杂ZnO纳米线的制备 | 第26页 |
| ·气敏元件的制备过程 | 第26-27页 |
| ·气敏性能测试 | 第27-32页 |
| ·气敏元件测试系统构成 | 第27-29页 |
| ·气敏元件的测试相关参数 | 第29-32页 |
| 3 实验结果表征及分析 | 第32-42页 |
| ·纯ZnO纳米线表征结果及其分析 | 第32-34页 |
| ·纯ZnO纳米线SEM表征结果及其分析 | 第32-33页 |
| ·纯ZnO纳米线XRD表征结果及其分析 | 第33-34页 |
| ·不同比例Ag掺杂ZnO纳米线表征结果及分析 | 第34-37页 |
| ·不同比例Ag掺杂ZnO纳米线SEM表征结果及其分析 | 第34-36页 |
| ·Ag掺杂ZnO纳米线XRD结果及分析 | 第36-37页 |
| ·不同比例Ni掺杂ZnO纳米线表征结果及分析 | 第37-39页 |
| ·不同比例Ni掺杂ZnO纳米线SEM表征结果及其分析 | 第37-38页 |
| ·Ni掺杂ZnO纳米线XRD结果及分析 | 第38-39页 |
| ·不同比例Al掺杂ZnO纳米线表征结果及分析 | 第39-42页 |
| ·不同比例Al掺杂ZnO纳米线SEM表征结果及其分析 | 第39-41页 |
| ·Al掺杂ZnO纳米线XRD结果及分析 | 第41-42页 |
| 4 ZnO纳米线基气敏元件的气敏特性 | 第42-50页 |
| ·纯ZnO纳米线及不同比例Ag掺杂纳米线气敏性能测试结果分析 | 第42页 |
| ·不同比例Ag掺杂ZnO纳米线气敏性能测试结果分析 | 第42-44页 |
| ·不同比例Ni掺杂ZnO纳米线气敏性能测试结果分析 | 第44-47页 |
| ·不同比例Al掺杂ZnO纳米线气敏性能测试结果分析 | 第47-50页 |
| 5 ZnO纳米线气敏机理分析 | 第50-60页 |
| ·半导体材料电阻性质 | 第50-51页 |
| ·ZnO纳米线气敏机理模型及分析 | 第51-57页 |
| ·表面电导控制模型 | 第51-53页 |
| ·晶界势垒理论模型 | 第53-56页 |
| ·能带理论模型 | 第56-57页 |
| ·掺杂ZnO纳米线气敏机理解释 | 第57-60页 |
| ·势垒理论模型 | 第57-58页 |
| ·能带理论模型 | 第58-60页 |
| 6 结论 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
