| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-9页 |
| ·课题的研究背景 | 第7-8页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第8-9页 |
| 2 子孔径拼接检测技术研究 | 第9-16页 |
| ·子孔径拼接原理 | 第10-11页 |
| ·子孔径拼接的分类 | 第11-14页 |
| ·子孔径测量方法的比较与选择 | 第14-15页 |
| ·测量方法的选择 | 第15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 3 平面子孔径拼接检测系统原理与总体方案 | 第16-26页 |
| ·移相干涉技术 | 第16-18页 |
| ·移相式干涉仪 | 第18-20页 |
| ·拼接干涉仪 | 第20-22页 |
| ·子孔径数目的确定 | 第22-25页 |
| ·检测平台改造的技术要求 | 第25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 4 子孔径拼接算法程序设计 | 第26-39页 |
| ·算法原理 | 第26-30页 |
| ·子孔径拼接检测的精度评价参数 | 第30-32页 |
| ·拼接算法程序 | 第32-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 5 子孔径拼接误差分析 | 第39-43页 |
| ·子孔径面形测量误差 | 第39-40页 |
| ·子孔径拼接误差 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 6 运用Pro/M软件分析大口径平面光学元件的支撑变形 | 第43-52页 |
| ·Pro/M软件简介 | 第44页 |
| ·检测及装配过程中大口径光学元件的常用支撑方法 | 第44-46页 |
| ·大口径平面光学元件在不同支撑情况下的面形变形分析结果 | 第46-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 总结 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 附录:源程序中的"数据拼接"类函数 | 第57-62页 |