干涉显微镜测量球面小曲率半径方法研究
| 声明 | 第1-3页 |
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-10页 |
| ·课题研究背景 | 第7页 |
| ·论文的主要工作和内容安排 | 第7-10页 |
| 2.球面曲率半径测量方法 | 第10-19页 |
| ·球面曲率半径的测量方法 | 第10-14页 |
| ·球面样板法 | 第10页 |
| ·球径仪法 | 第10-12页 |
| ·自准直显微镜法 | 第12页 |
| ·牛顿环法 | 第12-13页 |
| ·干涉测长法 | 第13-14页 |
| ·干涉显微镜测量球面曲率半径 | 第14-17页 |
| ·干涉显微镜测量原理 | 第15-16页 |
| ·干涉显微镜人工测量法 | 第16页 |
| ·显微移相干涉法 | 第16-17页 |
| ·各种方法的比较 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 3.阻尼最小二乘算法应用于球面曲率半径测量 | 第19-31页 |
| ·阻尼最小二乘法原理 | 第19-21页 |
| ·阻尼最小二乘法原理应用于球面曲率半径测量 | 第21-23页 |
| ·算法模拟 | 第23-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 4.阻尼最小二乘算法应用于PZT非线性的标定 | 第31-40页 |
| ·PZT位移测量原理 | 第31-32页 |
| ·模拟数据 | 第32-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 5.实验及误差分析 | 第40-62页 |
| ·实验一：干涉显微镜测量球面曲率半径 | 第40-51页 |
| ·实验装置及实验步骤 | 第40-43页 |
| ·误差分析 | 第43-46页 |
| ·对标定的分析 | 第46-49页 |
| ·调焦误差 | 第49-50页 |
| ·测量范围 | 第50-51页 |
| ·实验二：干涉显微镜测量光纤连接器端面曲率半径 | 第51-54页 |
| ·实验三：单点法测量PZT位移及相位曲线 | 第54-59页 |
| ·实验装置及实验步骤 | 第54-59页 |
| ·PZT非线性误差的消除 | 第59页 |
| ·实验四：截线法测量PZT位移及相位曲线 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 6 全文总结 | 第62-64页 |
| ·本文所做的工作 | 第62页 |
| ·需要改进的地方 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
