| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-22页 |
| ·课题的来源及意义 | 第9页 |
| ·微机电系统概述 | 第9-11页 |
| ·微力传感器概述及研究现状 | 第11-17页 |
| ·基于压电材料的微执行器研究现状 | 第17-20页 |
| ·本文的目标及主要工作 | 第20-22页 |
| 2 压电材料基本理论及压电系数测量 | 第22-34页 |
| ·压电效应与压电方程 | 第22-25页 |
| ·压电效应 | 第22页 |
| ·压电方程 | 第22-23页 |
| ·横向压电系数 | 第23页 |
| ·压电传感器的主要工作模式 | 第23-25页 |
| ·PZT压电薄膜的制备及表征 | 第25-27页 |
| ·PZT薄膜制备方法简介 | 第25页 |
| ·X射线衍射分析 | 第25-26页 |
| ·电滞回线 | 第26-27页 |
| ·双压电薄膜悬臂梁式微力传感器 | 第27-30页 |
| ·双压电薄膜微悬臂梁结构设计 | 第27-29页 |
| ·悬臂梁式压电微力传感器理论 | 第29-30页 |
| ·压电系数测量方法概论 | 第30-34页 |
| 3 悬臂梁式双压电薄膜传感和执行性能测试 | 第34-50页 |
| ·测试系统 | 第34-39页 |
| ·测试系统组成 | 第34-36页 |
| ·压电双晶片驱动位移标定 | 第36-37页 |
| ·微悬臂梁弹性系数测量 | 第37-39页 |
| ·传感性能测试 | 第39-44页 |
| ·压电微悬臂梁准静态力测量原理 | 第39页 |
| ·双片压电微悬臂梁传感性能测试 | 第39-41页 |
| ·双层压电微悬臂梁传感性能测试 | 第41-43页 |
| ·双片 PZT薄膜微悬臂梁的极化 | 第43-44页 |
| ·执行性能测试 | 第44-47页 |
| ·压电微悬臂梁尖端驱动力测量原理 | 第45-46页 |
| ·双片压电微悬臂梁执行能力测量 | 第46-47页 |
| ·实验结果分析及操作注意事项 | 第47-50页 |
| ·实验结果分析 | 第47-48页 |
| ·传感能力测试注意事项 | 第48-49页 |
| ·执行能力测试注意事项 | 第49-50页 |
| 4 压电系数d_(31)计算和微悬臂梁频率特性测量 | 第50-66页 |
| ·基于逆压电效应的d_(31)计算 | 第50-55页 |
| ·压电执行器的位移-力特性 | 第50-54页 |
| ·测量结果分析 | 第54-55页 |
| ·基于正压电效应的d_(31)计算 | 第55-57页 |
| ·压电传感器的电荷-位移特性 | 第55-57页 |
| ·测量结果分析 | 第57页 |
| ·微悬臂梁频率特性分析 | 第57-64页 |
| ·微悬臂梁频率理论分析 | 第58-60页 |
| ·冲击法测量微悬臂梁固有频率 | 第60-62页 |
| ·光学法测量微悬臂梁固有频率 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 5 集成执行功能的微力传感器测试 | 第66-76页 |
| ·压电双晶片-微探针施加的静态力的测量 | 第66-70页 |
| ·测量原理 | 第66-67页 |
| ·静态力标定 | 第67-68页 |
| ·微力传感器测量结果 | 第68-70页 |
| ·微悬臂梁驱动电极施加的静态力的测量 | 第70-74页 |
| ·测量原理 | 第70-71页 |
| ·静态力标定 | 第71页 |
| ·微力传感器测量结果 | 第71-74页 |
| ·测量结果分析及操作注意事项 | 第74-76页 |
| ·测量结果分析 | 第74-75页 |
| ·操作注意事项 | 第75-76页 |
| 结论 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-83页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第83页 |
| 攻读硕士学位期间获奖情况 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第85页 |